Lo spessore dei film depositati può essere misurato con diversi metodi, ciascuno con i propri requisiti e applicazioni. I metodi principali includono la profilometria a stilo, l'interferometria, la microscopia elettronica a trasmissione (TEM) e la spettrofotometria, ciascuno adatto a diversi spessori di film e proprietà del materiale.
Profilometria a stilo e interferometria:
La profilometria a stilo e l'interferometria sono metodi meccanici che richiedono una scanalatura o un gradino tra il film e il substrato. Queste scanalature vengono create mascherando parti del substrato o rimuovendo selettivamente parti del film depositato. Nella profilometria a stilo, uno stilo traccia fisicamente il profilo della superficie, misurando la differenza di altezza tra il film e il substrato. L'interferometria, invece, utilizza l'interferenza delle onde luminose per misurare lo spessore. Questo metodo richiede una superficie altamente riflettente per generare frange di interferenza, che vengono poi analizzate per determinare lo spessore del film. Entrambi i metodi misurano lo spessore in punti specifici, rendendo l'uniformità del film un fattore critico per la precisione.Microscopia elettronica a trasmissione (TEM):
La TEM è utilizzata per analizzare film sottili, in particolare nell'intervallo tra pochi nanometri e 100 nm. Questo metodo prevede l'uso di un fascio ionico focalizzato (FIB) per preparare campioni di spessore adeguato. La TEM fornisce immagini ad alta risoluzione, consentendo un'analisi dettagliata della struttura e dello spessore del film. È particolarmente utile per i materiali conduttivi e semiconduttivi.
Spettrofotometria:
La spettrofotometria viene utilizzata per misurare spessori di film compresi tra 0,3 e 60 µm. Questo metodo utilizza il principio dell'interferenza, in cui l'interferenza delle onde luminose è influenzata dallo spessore e dall'indice di rifrazione del film. Analizzando i modelli di interferenza, è possibile determinare lo spessore del film. Questo metodo è efficace per i film trasparenti e richiede la conoscenza dell'indice di rifrazione del film.
Selezione della tecnica di misura:
