I tubi di quarzo sono in grado di sostenere una pressione significativa.
La resistenza alla trazione di progetto per il quarzo fuso con una buona qualità superficiale è superiore a 4,8 x 10^7 Pa (7.000 psi).
Ciò significa che il tubo di quarzo può sopportare pressioni fino a 4,8 x 10^7 Pa o 7.000 psi senza rompersi o cedere.
5 Approfondimenti chiave
1. Resistenza alla trazione di progetto
La resistenza alla trazione di progetto per il quarzo fuso con una buona qualità superficiale è superiore a 4,8 x 10^7 Pa (7.000 psi).
2. Sistema di forni LPCVD
Nel contesto del sistema di forni LPCVD citato, la pressione di esercizio è specificata in 45.000 psi (310 MPa).
Ciò indica che il tubo di quarzo utilizzato in questo sistema è progettato per gestire senza problemi pressioni fino a 45.000 psi.
3. Pressione della camera a vuoto
La camera del vuoto del sistema di deposizione citato ha la capacità di raggiungere una pressione minima in breve tempo.
La pressione all'interno della camera da vuoto gioca un ruolo cruciale nel processo di copertura del campione e nella qualità del film sottile depositato.
Per monitorare accuratamente la pressione all'interno della camera, si utilizzano manometri affidabili e precisi.
Il manometro utilizzato nel sistema di deposizione citato è in grado di visualizzare la pressione nell'intervallo di pressione atmosferica fino a 10^-9 Torr.
4. Importanza della bassa pressione
Vale la pena notare che il mantenimento di una bassa pressione è importante in alcuni processi per evitare effetti chimici sul campione.
Ad esempio, nel caso di un'atmosfera di carbonio in un forno a vuoto, è necessario mantenere la pressione al di sotto di 1 o 2 mm per evitare effetti chimici apprezzabili sul campione.
Per proteggere il campione dal vapore o dalle particelle di carbonio, si utilizza in genere un tubo di porcellana refrattaria chiuso a un'estremità e sospeso nella parte fredda del forno.
Questo tubo contribuisce a diminuire la convenzione dei gas riducenti al di là del campione, riducendo l'azione di riduzione complessiva.
5. Capacità di pressione specifica
In generale, la pressione specifica che un tubo di quarzo può sostenere dipende dal suo design e dalla sua qualità.
Nelle referenze citate, i tubi di quarzo sono progettati per resistere a pressioni elevate, con il sistema di forni LPCVD che ha una pressione di esercizio di 45.000 psi (310 MPa).
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