La frequenza comunemente utilizzata per la deposizione sputter RF è 13,56 MHz. Questa frequenza viene scelta per diversi motivi:
-
Conformità alle normative: L'Unione Internazionale delle Telecomunicazioni (ITU) ha designato i 13,56 MHz come frequenza per strumenti industriali, scientifici e medici (ISM) per evitare interferenze con i servizi di telecomunicazione. Questa designazione garantisce che le apparecchiature di sputtering a radiofrequenza operino all'interno di una banda di frequenza specificamente riservata alle applicazioni non di comunicazione.
-
Efficienza nell'interazione ione-bersaglio: La frequenza di 13,56 MHz è sufficientemente bassa da consentire un tempo sufficiente per il trasferimento della quantità di moto degli ioni di argon al materiale bersaglio durante lo sputtering. A questa frequenza, gli ioni hanno tempo sufficiente per raggiungere e interagire con il bersaglio prima che inizi il ciclo successivo del campo RF. Questa interazione è fondamentale per un efficace sputtering del materiale bersaglio.
-
Evitare l'accumulo di carica: Nello sputtering a radiofrequenza, il potenziale elettrico alternato aiuta a prevenire l'accumulo di cariche sul bersaglio, soprattutto quando si tratta di materiali isolanti. Durante il ciclo positivo della radiofrequenza, gli elettroni sono attratti dal bersaglio, dandogli una polarizzazione negativa. Durante il ciclo negativo, il bombardamento ionico continua, assicurando che il bersaglio rimanga elettricamente neutro e prevenendo eventuali effetti negativi come la formazione di gocce.
-
Standard ampiamente accettato: Data la sua efficacia e la conformità alle normative internazionali, 13,56 MHz è diventata la frequenza standard per lo sputtering RF. Questa standardizzazione semplifica la progettazione e il funzionamento delle apparecchiature di sputtering, nonché la compatibilità di diversi sistemi e componenti.
In sintesi, la scelta della frequenza di 13,56 MHz per la deposizione sputtering a radiofrequenza è dovuta alla sua conformità alle normative, all'efficienza delle interazioni ione-bersaglio, alla capacità di prevenire l'accumulo di cariche e al suo status di standard ampiamente accettato nel settore.
Scoprite la precisione e l'affidabilità dei sistemi di deposizione sputter RF di KINTEK SOLUTION, progettati per soddisfare la frequenza standard del settore di 13,56 MHz. Dalla conformità normativa all'efficiente sputtering dei materiali, la nostra tecnologia avanzata garantisce un'integrazione perfetta e prestazioni ottimali. Migliorate le vostre capacità di ricerca e produzione con KINTEK SOLUTION, dove l'innovazione incontra la qualità nella strumentazione scientifica.
