La frequenza comunemente utilizzata per la deposizione sputter RF è 13,56 MHz.
Questa frequenza viene scelta per diversi motivi.
4 motivi principali per cui 13,56 MHz è la frequenza standard per la deposizione sputter RF
1. Conformità normativa
L'Unione Internazionale delle Telecomunicazioni (ITU) ha designato i 13,56 MHz come frequenza per gli strumenti industriali, scientifici e medici (ISM).
Questa assegnazione impedisce le interferenze con i servizi di telecomunicazione.
Garantisce che le apparecchiature di sputtering RF operino all'interno di una banda di frequenza specificamente riservata alle applicazioni non di comunicazione.
2. Efficienza nell'interazione ione-bersaglio
La frequenza di 13,56 MHz è sufficientemente bassa da consentire un tempo sufficiente per il trasferimento della quantità di moto degli ioni di argon al materiale bersaglio durante lo sputtering.
A questa frequenza, gli ioni hanno tempo sufficiente per raggiungere e interagire con il bersaglio prima che inizi il ciclo successivo del campo RF.
Questa interazione è fondamentale per un efficace sputtering del materiale bersaglio.
3. Evitare l'accumulo di carica
Nello sputtering a radiofrequenza, il potenziale elettrico alternato aiuta a prevenire l'accumulo di carica sul bersaglio, soprattutto quando si tratta di materiali isolanti.
Durante il ciclo positivo della radiofrequenza, gli elettroni vengono attratti dal bersaglio, conferendogli una polarizzazione negativa.
Durante il ciclo negativo, il bombardamento ionico continua, assicurando che il bersaglio rimanga elettricamente neutro e prevenendo effetti negativi come la formazione di gocce.
4. Standard ampiamente accettato
Data la sua efficacia e la conformità alle normative internazionali, la frequenza di 13,56 MHz è diventata lo standard per lo sputtering RF.
Questa standardizzazione semplifica la progettazione e il funzionamento delle apparecchiature di sputtering.
Inoltre, garantisce la compatibilità di diversi sistemi e componenti.
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