Il livello di vuoto di un evaporatore termico è tipicamente mantenuto a una pressione di 10^-5 Torr o inferiore. Questo ambiente ad alto vuoto è fondamentale per il processo di evaporazione termica, in quanto garantisce che il percorso libero medio delle molecole evaporate sia sufficientemente lungo da evitare collisioni con le molecole di gas presenti nella camera, che potrebbero influire negativamente sulla qualità del film depositato.
Spiegazione:
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Importanza del vuoto nell'evaporazione termica:
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L'evaporazione termica è un processo in cui i materiali vengono riscaldati in una camera a vuoto fino a quando gli atomi della loro superficie acquistano energia sufficiente per lasciare la superficie e depositarsi su un substrato. L'ambiente sotto vuoto è essenziale perché consente agli atomi o alle molecole evaporate di spostarsi dalla sorgente al substrato senza collisioni significative, mantenendo la loro integrità direzionale e quindi la qualità del rivestimento.Livelli di vuoto ottimali:
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Il livello di vuoto ottimale per l'evaporazione termica è in genere di circa 10^-5 Torr. A questa pressione, il percorso libero medio delle molecole è di circa 1 metro, sufficiente per la maggior parte delle configurazioni di evaporazione termica in cui la distanza tra la sorgente di evaporazione e il substrato varia da 200 mm a 1 metro. Ciò garantisce che le particelle evaporate possano percorrere la distanza senza deviare significativamente dal loro percorso a causa di collisioni.
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Configurazione del sistema di vuoto:
I moderni evaporatori termici utilizzano spesso pompe turbomolecolari, in grado di raggiungere queste basse pressioni in modo rapido ed efficiente. Queste pompe sono in genere supportate da pompe rotative a palette, pompe a secco scroll o pompe a radici multistadio, che aiutano ad evacuare la camera dalla pressione atmosferica alla pressione di base necessaria per il funzionamento. La configurazione è progettata per ridurre al minimo la caduta di detriti nella pompa e per mantenere un ambiente di vuoto pulito ed efficiente.
Controllo e monitoraggio:
