Il rivestimento sputter per la preparazione dei campioni al SEM prevede l'applicazione di uno strato sottilissimo di metallo elettricamente conduttivo su campioni non conduttivi o scarsamente conduttivi. Questo processo è fondamentale per prevenire la carica e migliorare la qualità delle immagini SEM aumentando il rapporto segnale/rumore grazie a una migliore emissione di elettroni secondari. Lo spessore tipico dello strato metallico polverizzato varia da 2 a 20 nm e i metalli comunemente utilizzati sono oro, oro/palladio, platino, argento, cromo e iridio.
Spiegazione dettagliata:
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Scopo del rivestimento sputter:
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Il rivestimento sputter è utilizzato principalmente per preparare campioni non conduttivi o scarsamente conduttivi per la microscopia elettronica a scansione (SEM). Senza un rivestimento conduttivo, questi campioni possono accumulare campi elettrici statici, causando distorsioni dell'immagine o danni al campione dovuti all'interazione con il fascio di elettroni.Meccanismo del rivestimento sputter:
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- Il processo prevede una tecnica di deposizione sputter in cui un bersaglio metallico viene bombardato con particelle energetiche (di solito ioni), causando l'espulsione di atomi dal bersaglio e il loro deposito sul campione. In questo modo si forma uno strato sottile e uniforme di metallo che fornisce conduttività elettrica al campione.Vantaggi del rivestimento sputter:
- Prevenzione della carica: Fornendo un percorso conduttivo, il rivestimento sputter impedisce l'accumulo di cariche sul campione, che altrimenti devierebbero il fascio di elettroni e degraderebbero la qualità dell'immagine.
- Miglioramento dell'emissione di elettroni secondari: I metalli conduttivi come l'oro e il platino sono in grado di emettere elettroni secondari quando vengono colpiti da un fascio di elettroni. Ciò aumenta l'intensità del segnale, migliorando la risoluzione e il contrasto delle immagini SEM.
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Riduzione del danno termico: Un rivestimento conduttivo aiuta anche a dissipare il calore generato dal fascio di elettroni, riducendo il rischio di danni termici ai campioni sensibili.
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Tipi di metalli utilizzati:
Per il rivestimento sputter possono essere utilizzati diversi metalli, ciascuno con i suoi vantaggi a seconda dei requisiti specifici dell'analisi SEM. Ad esempio, l'oro/palladio è spesso utilizzato per la sua eccellente conduttività e resistenza all'ossidazione, mentre il platino fornisce un rivestimento robusto adatto all'imaging ad alta risoluzione.
Limitazioni e alternative:
