Un bersaglio in un processo di sputtering è un disco sottile o un foglio di materiale utilizzato per depositare film sottili su un substrato, come un wafer di silicio. Il processo consiste nell'espellere fisicamente gli atomi dalla superficie del bersaglio bombardandolo con ioni, in genere di un gas inerte come l'argon. Gli atomi espulsi viaggiano quindi attraverso la camera a vuoto e si depositano sul substrato, formando un film sottile e uniforme.
Spiegazione dettagliata:
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Composizione e forma dei target di sputtering:
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I target di sputtering sono tipicamente realizzati in metallo, ceramica o plastica, a seconda dell'applicazione desiderata. Hanno la forma di dischi o fogli sottili, che vengono montati in una camera a vuoto dove avviene il processo di sputtering.Processo di sputtering:
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Il processo di sputtering inizia introducendo un substrato in una camera a vuoto contenente il target. Un gas inerte, come l'argon, viene introdotto nella camera. Gli ioni di questo gas vengono accelerati verso il bersaglio mediante campi elettrici. Quando questi ioni si scontrano con il bersaglio, trasferiscono energia, provocando l'espulsione degli atomi dal bersaglio.
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Deposizione di film sottili:
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Gli atomi espulsi dal bersaglio attraversano la camera e si depositano sul substrato. La bassa pressione e l'ambiente controllato nella camera assicurano che gli atomi si depositino in modo uniforme, ottenendo un film sottile di spessore costante. Questo processo è fondamentale per le applicazioni che richiedono rivestimenti precisi e uniformi, come nella microelettronica e nelle celle solari.Applicazioni dei target di sputtering:
I target sputtering sono ampiamente utilizzati in diversi settori industriali. Nella microelettronica, vengono utilizzati per depositare materiali come alluminio, rame e titanio su wafer di silicio per creare dispositivi elettronici. Nelle celle solari, i target realizzati con materiali come il molibdeno sono utilizzati per produrre film sottili conduttivi. Inoltre, i target di sputtering sono utilizzati nella produzione di rivestimenti decorativi e nell'optoelettronica.
