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Il bersaglio in un processo di sputtering è un pezzo solido di materiale che serve come fonte per creare un rivestimento di film sottile su un substrato. In genere ha una forma piatta o cilindrica e viene bombardato con energia per espellere particelle di dimensioni atomiche che si depositano sul substrato. Il bersaglio deve essere sufficientemente grande per evitare lo sputtering involontario di altri componenti e la sua superficie è sempre più grande dell'area effettivamente spruzzata. Con il tempo, i target usati sviluppano scanalature più profonde o aree di sputtering predominanti, spesso chiamate "piste"

Punti chiave spiegati:

1. Definizione e ruolo del target nello sputtering:

   • Il target è il materiale solido utilizzato nel processo di sputtering per creare un rivestimento in film sottile.
   • Agisce come fonte di materia prima, da cui vengono espulse particelle di dimensioni atomiche che vengono depositate su un substrato.

2. Caratteristiche fisiche di un bersaglio:

   • I bersagli sono tipicamente di forma piatta o cilindrica.
   • Devono essere sufficientemente grandi da impedire lo sputtering involontario di cuscinetti metallici o altri componenti.
   • La superficie di destinazione è sempre più grande dell'area effettivamente sottoposta a sputtering per garantire una deposizione uniforme ed evitare gli effetti dei bordi.

3. Processo di sputtering e interazione con il bersaglio:

   • Nel magnetron sputtering, un magnetron viene posizionato vicino al bersaglio e un gas inerte (ad esempio, argon) viene introdotto nella camera a vuoto.
   • Tra il bersaglio e il substrato viene applicata un'alta tensione che accelera gli ioni gassosi verso il bersaglio.
   • Il bombardamento del bersaglio da parte di questi ioni espelle particelle di dimensioni atomiche, che formano un film sottile sul substrato.

4. Abbigliamento target e "piste da corsa":

   • Con il tempo, la superficie del bersaglio sviluppa scanalature più profonde o aree in cui lo sputtering è stato predominante.
   • Queste aree usurate sono spesso chiamate "piste da corsa" per il loro aspetto caratteristico.
   • La formazione di tracce di corsa indica che il bersaglio si sta avvicinando alla fine della sua vita utile.

5. Esempio: Obiettivi dell'oro:

   • I bersagli d'oro sono dischi di oro puro utilizzati specificamente per depositare film sottili d'oro.
   • Questi vengono bombardati con energia per espellere gli atomi d'oro, che poi si depositano sul substrato per formare un rivestimento d'oro uniforme.

6. Importanza delle dimensioni e della forma del target:

   • Le dimensioni e la forma del target sono fondamentali per garantire uno sputtering efficiente e uniforme.
   • Una superficie di destinazione più ampia aiuta a evitare lo sputtering involontario di altri componenti e garantisce tassi di deposizione costanti.

7. Applicazione nella deposizione di film sottili:

   • Gli obiettivi sono essenziali in diversi settori, tra cui la produzione di semiconduttori, l'ottica e i rivestimenti decorativi.
   • La scelta del materiale di destinazione dipende dalle proprietà desiderate del film sottile, come la conduttività, la riflettività o la resistenza alla corrosione.

Comprendendo questi punti chiave, l'acquirente di un'apparecchiatura di sputtering o di materiali di consumo può prendere decisioni informate sulla selezione e sulla manutenzione dei target per ottimizzare il processo di sputtering e ottenere rivestimenti di film sottili di alta qualità.

Tabella riassuntiva:

Aspetto chiave	Dettagli
Definizione	Materiale solido utilizzato per creare rivestimenti a film sottile tramite sputtering.
Forma	Tipicamente piatti o cilindrici.
Dimensione	Più grande dell'area di sputtering per evitare sputtering involontari.
Processo	Bombardato con energia per espellere le particelle, che si depositano su un substrato.
Usura e usura	Con il passare del tempo si formano delle "piste" che indicano l'approssimarsi della fine della vita utile.
Esempio	Obiettivi d'oro per la deposizione di film sottili d'oro.
Applicazioni	Utilizzato nei semiconduttori, nell'ottica e nei rivestimenti decorativi.

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