Un forno a vuoto è composto da diversi elementi chiave, tra cui un guscio del forno sigillato, dispositivi di riscaldamento elettrico, un sistema di vuoto, un sistema di alimentazione e un sistema di controllo della temperatura. Il guscio del forno è tipicamente in acciaio al carbonio o in acciaio inossidabile ed è sigillato per evitare perdite d'aria. I meccanismi di raffreddamento, come il raffreddamento ad acqua o ad aria, sono utilizzati per evitare che il guscio si deformi a temperature elevate. All'interno del forno sono installati vari elementi riscaldanti, come resistenze, bobine a induzione, elettrodi e cannoni elettronici, a seconda dell'applicazione specifica. Per la fusione dei metalli, sono inclusi anche crogioli e dispositivi di versamento automatico o bracci meccanici per la movimentazione del materiale. Il sistema di vuoto consiste in una pompa per vuoto, valvole per vuoto e altri componenti necessari per mantenere l'ambiente sotto vuoto. Inoltre, il forno può utilizzare atmosfere diverse come il vuoto, l'argon, l'azoto, l'idrogeno o altre miscele di gas, a seconda dei requisiti del processo. Gli elementi riscaldanti dei forni a vuoto sono in genere realizzati con materiali come grafite, molibdeno o tungsteno, in grado di resistere alle alte temperature e di mantenere basse pressioni in condizioni di vuoto.
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