La deposizione fisica da vapore (PVD) per evaporazione e lo sputtering sono due metodi comuni per depositare film sottili su substrati. L'evaporazione comporta il riscaldamento del materiale di rivestimento fino al suo punto di ebollizione nel vuoto, provocandone la vaporizzazione e la successiva condensazione sul substrato. Lo sputtering, invece, utilizza particelle ad alta energia per bombardare un materiale bersaglio, provocando l'espulsione di atomi o molecole che si depositano su un substrato.
Evaporazione:
Nel processo di evaporazione, il materiale da rivestire viene riscaldato ad alta temperatura, in genere in una camera a vuoto, finché non raggiunge il punto di ebollizione e si trasforma in vapore. Questo vapore attraversa il vuoto e si condensa sulla superficie più fredda del substrato, formando un film sottile. Il riscaldamento può essere ottenuto con vari metodi, come il riscaldamento resistivo o il riscaldamento a fascio di elettroni. Il vantaggio dell'evaporazione è la sua semplicità e la capacità di depositare materiali con elevata purezza. Tuttavia, potrebbe non essere adatta per depositare film multicomponente o film con punti di fusione elevati.Sputtering:
Lo sputtering prevede l'uso di una scarica di plasma per espellere atomi da un materiale bersaglio. Il bersaglio, ovvero il materiale da depositare, viene bombardato con ioni ad alta energia (di solito ioni di argon) in un ambiente a bassa pressione. L'impatto di questi ioni provoca l'espulsione degli atomi dal bersaglio e il loro successivo deposito sul substrato. Lo sputtering può essere eseguito con diverse tecniche, come lo sputtering a diodi, lo sputtering a magnetron e lo sputtering a fascio ionico. Il vantaggio dello sputtering è la sua versatilità nel depositare un'ampia gamma di materiali, comprese leghe e composti, e la possibilità di controllare le proprietà del film regolando i parametri del processo. Tuttavia, i sistemi di sputtering sono generalmente più complessi e richiedono un investimento iniziale più elevato rispetto ai sistemi di evaporazione.
