I pericoli dei CNT (nanotubi di carbonio) possono essere classificati in diversi aspetti:
1. Esposizione polmonare: l'inalazione di CNT può portare a infiammazioni polmonari, che sono state collegate allo sviluppo di fibrosi polmonare e cancro. Ciò significa che i CNT possono avere effetti dannosi sul sistema respiratorio se vengono inalati.
2. Precursori gassosi tossici: Nel processo di deposizione chimica da vapore (CVD) utilizzato per la crescita dei CNT, possono essere utilizzati alcuni precursori gassosi come Cu(acac)2, B2H6 o Ni(CO)4. Questi precursori sono velenosi e possono causare danni al sistema respiratorio se inalati. Questi precursori sono velenosi, corrosivi ed esplosivi. Se non vengono maneggiati e consegnati con cautela, possono comportare rischi per l'ambiente e per la salute di chi vi è esposto.
3. Sottoprodotti gassosi tossici: Durante il processo CVD, possono essere prodotti sottoprodotti gassosi come HF, H2 o CO. Questi sottoprodotti sono altamente tossici e devono essere trattati correttamente quando vengono rilasciati dalla camera a vuoto per evitare danni all'ambiente e alle persone.
4. Rivestimento ad alta temperatura: I processi CVD depositano rivestimenti a film sottile a temperature molto elevate. Tuttavia, alcuni materiali di substrato possono avere una scarsa stabilità termica e non sopportare queste temperature elevate. L'uso di tali materiali può portare a un fallimento del processo CVD e a situazioni potenzialmente pericolose.
Va notato che, sebbene la CVD abbia i suoi vantaggi, come la capacità di creare uno spessore uniforme sui substrati, è necessario prendere precauzioni per garantire la sicurezza di chi lavora con i processi CVD. È necessario seguire una procedura operativa standard (SOP) per ridurre al minimo i rischi associati ai precursori e ai sottoprodotti tossici della CVD.
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