Il carburo di silicio (SiC) non è un buon isolante elettrico; infatti, alcune forme di carburo di silicio, in particolare quelle prodotte mediante deposizione chimica da vapore (CVD), presentano una bassa resistenza elettrica, che le rende ragionevoli conduttori di elettricità. Questa proprietà è particolarmente evidente nel "carburo di silicio CVD a bassa resistività", che ha una resistività di massa inferiore a 0,1 ohm-cm.
Spiegazione della conducibilità elettrica del SiC:
La conducibilità elettrica del carburo di silicio è influenzata dal metodo di produzione e dalle condizioni specifiche di lavorazione. Il carburo di silicio CVD, in particolare, può essere progettato per avere una resistenza elettrica molto bassa, intorno a un ohm-cm, che lo classifica come conduttore piuttosto che come isolante. Questa bassa resistenza è dovuta all'elevata purezza e al controllo preciso del processo di deposizione, che consente di creare un materiale con meno difetti e impurità che altrimenti ostacolerebbero il flusso di elettroni.Applicazioni che beneficiano della conducibilità elettrica del SiC:
Le proprietà conduttive del carburo di silicio CVD aprono diverse applicazioni nell'industria dei semiconduttori. Viene utilizzato in componenti come i ricettori, le camere di lavorazione, le piastre di distribuzione del gas e i mandrini elettrostatici, dove la conducibilità elettrica è fondamentale. Inoltre, la sua capacità di condurre l'elettricità consente l'uso di metodi di lavorazione a scarica elettrica (EDM) per la fabbricazione di pezzi di precisione, particolarmente utili per generare fori piccoli e ad alto rapporto di aspetto.
Contrasto con le proprietà generali del SiC:
Sebbene il carburo di silicio CVD presenti proprietà conduttive, è importante notare che non tutte le forme di carburo di silicio sono conduttive. Il carburo di silicio generico, in particolare le varietà sinterizzate o legate a reazione, possono avere proprietà isolanti a seconda della loro purezza e microstruttura. Lo strato protettivo di ossido di silicio che si forma sul SiC in aria ad alte temperature può anche migliorare le sue proprietà isolanti.
