L'effetto della velocità di deposizione sul film sottile è che i film prodotti a velocità di deposizione più elevate presentano escrescenze o collinette, la cui densità aumenta con l'aumentare della velocità di deposizione. Inoltre, la dimensione media dei grani del film aumenta con l'aumentare della velocità di deposizione. Ad esempio, per i film di alluminio su tutti i substrati, la dimensione media dei grani aumenta da 20-30 nm a 50-70 nm con l'aumento della velocità di deposizione.
La velocità di deposizione è un parametro importante da considerare quando si utilizza o si acquista un'apparecchiatura di deposizione. È una misura della velocità di crescita del film ed è tipicamente espressa in unità di spessore diviso per il tempo (ad esempio, A/s, nm/min, um/ora). La scelta della velocità di deposizione dipende dall'applicazione specifica. Per i film sottili, è preferibile una velocità di deposizione relativamente lenta per garantire un controllo preciso dello spessore del film. Per i film spessi, invece, si desidera una velocità di deposizione più elevata. Tuttavia, esistono dei compromessi tra le proprietà del film e le condizioni del processo. I processi a velocità di deposizione più elevata richiedono spesso potenze, temperature o flussi di gas più elevati, che possono influire su altre caratteristiche del film, come l'uniformità, lo stress o la densità.
L'uniformità della deposizione è un altro fattore da considerare. L'uniformità della deposizione si riferisce alla consistenza dello spessore del film sul substrato. Può anche riferirsi ad altre proprietà del film, come l'indice di rifrazione. L'uniformità si misura in genere raccogliendo dati su un wafer e calcolando la media e la deviazione standard. È importante escludere dall'analisi metrologica le aree con effetti di serraggio o bordi.
In conclusione, la velocità di deposizione influisce sulla morfologia e sulla granulometria dei film sottili. È importante scegliere una velocità di deposizione adeguata alle proprietà del film e all'applicazione desiderata. Inoltre, è necessario considerare fattori come l'uniformità per garantire una qualità costante del film.
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