Il principio di base del processo di evaporazione a fascio elettronico prevede l'utilizzo di un intenso fascio di elettroni per riscaldare e far evaporare un materiale di partenza, che poi si deposita come un film sottile e di elevata purezza su un substrato. Questo processo è una forma di deposizione fisica da vapore (PVD) ed è particolarmente efficace per creare rivestimenti sottili che non alterino significativamente le dimensioni del substrato.
Spiegazione dettagliata:
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Impostazione e componenti:
- Il processo inizia in una camera a vuoto, essenziale per evitare che il materiale evaporato reagisca con le molecole d'aria. All'interno della camera sono presenti tre componenti principali:Sorgente del fascio di elettroni:
- Si tratta in genere di un filamento di tungsteno riscaldato a oltre 2.000 gradi Celsius. Il calore provoca l'emissione di elettroni dal filamento.Crogiolo:
- Contiene il materiale della sorgente ed è posizionato in modo da ricevere il fascio di elettroni. Il crogiolo può essere realizzato in materiali come rame, tungsteno o ceramica tecnica, a seconda dei requisiti di temperatura del materiale sorgente. È continuamente raffreddato ad acqua per evitare la fusione e la contaminazione del materiale sorgente.Campo magnetico:
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I magneti vicini alla sorgente del fascio di elettroni creano un campo magnetico che concentra gli elettroni emessi in un fascio diretto al crogiolo.Processo di evaporazione:
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Il fascio di elettroni, focalizzato dal campo magnetico, colpisce il materiale di partenza nel crogiolo. L'energia degli elettroni viene trasferita al materiale, provocandone il riscaldamento e l'evaporazione. Le particelle evaporate salgono nel vuoto e si depositano su un substrato posizionato sopra il materiale di partenza. Si ottiene così un rivestimento in film sottile, con uno spessore che varia in genere da 5 a 250 nanometri.
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Controllo e monitoraggio:
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Lo spessore del film depositato viene monitorato in tempo reale mediante un monitor a cristalli di quarzo. Una volta raggiunto lo spessore desiderato, il fascio di elettroni viene spento e il sistema avvia una sequenza di raffreddamento e sfiato per rilasciare la pressione del vuoto.Rivestimento multimateriale:
Molti sistemi di evaporazione a fascio elettronico sono dotati di crogioli multipli, che consentono la deposizione di diversi materiali in sequenza senza dover sfiatare il sistema. Questa capacità consente di creare rivestimenti multistrato, aumentando la versatilità del processo.
Deposizione reattiva:
