Nello sputtering, il bersaglio è un pezzo solido di materiale che viene utilizzato per depositare un film sottile su un substrato.
Questo processo comporta l'espulsione di atomi o molecole dal materiale bersaglio grazie al bombardamento di particelle energetiche.
In genere, queste particelle sono ioni di un gas inerte come l'argon.
Il materiale spruzzato forma quindi un film sul substrato posto all'interno della camera a vuoto.
Caratteristiche e tipi di bersaglio
I target nei sistemi di sputtering sono tipicamente lastre solide di varie dimensioni e forme.
Possono variare da piatti a cilindrici, a seconda dei requisiti specifici della geometria del plasma.
I bersagli sono realizzati in una varietà di materiali, tra cui metalli puri, leghe e composti come ossidi o nitruri.
La scelta del materiale del bersaglio dipende dalle proprietà desiderate del film sottile da depositare.
Il processo di sputtering
Durante il processo di sputtering, un gas controllato, solitamente argon, viene introdotto in una camera a vuoto.
Una scarica elettrica viene applicata al catodo, che ospita il materiale target, creando un plasma.
In questo plasma, gli atomi di argon vengono ionizzati e accelerati verso il bersaglio.
Si scontrano con il materiale bersaglio, provocando l'espulsione di atomi o molecole.
Le particelle espulse formano un flusso di vapore che attraversa la camera e si deposita sul substrato, formando un film sottile.
Esempi e applicazioni specifiche
Ad esempio, un bersaglio di sputtering al silicio è ottenuto da un lingotto di silicio.
Può essere prodotto con vari metodi, come l'elettroplaccatura, lo sputtering o la deposizione di vapore.
Questi target vengono lavorati per garantire le condizioni superficiali desiderate, come un'elevata riflettività e una bassa rugosità superficiale.
Ciò è fondamentale per la qualità dei film depositati.
I film prodotti da questi target sono caratterizzati da un basso numero di particelle, il che li rende adatti ad applicazioni nella produzione di semiconduttori e celle solari.
Conclusioni
In sintesi, il target nello sputtering è un componente critico che determina la composizione del materiale e le proprietà del film sottile depositato sul substrato.
Il processo di sputtering prevede l'uso di un plasma per espellere il materiale dal bersaglio.
Questo materiale si deposita poi sul substrato, formando un film sottile con le caratteristiche specifiche desiderate.
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