Il carburo di silicio (SiC) è utilizzato in diverse applicazioni nell'industria dei semiconduttori grazie alle sue proprietà uniche, che comprendono un ampio band gap, un'elevata conducibilità termica, un'alta mobilità degli elettroni e un'elevata intensità del campo elettrico di breakdown. Queste caratteristiche rendono il SiC un materiale ideale per i dispositivi a semiconduttore di potenza, in cui risolve i limiti dei materiali tradizionali come il silicio (Si) e l'arseniuro di gallio (GaAs).
Apparecchiature per la produzione di semiconduttori:
Il SiC è utilizzato per la fabbricazione di componenti per le apparecchiature di produzione di semiconduttori, come i percettori, gli anelli di scorrimento, i perni di sollevamento, gli elettrodi, gli anelli di messa a fuoco e i rivestimenti delle camere. Questi componenti sono fondamentali in processi come l'elaborazione termica rapida (RTP), l'incisione al plasma, la deposizione chimica da vapore (CVD), l'epitassia, l'impiantazione ionica, la litografia e vari metodi di pulizia. L'uso del SiC in queste applicazioni è dovuto alla sua resistenza alle alte temperature e agli ambienti corrosivi, comuni nei processi di produzione dei semiconduttori.Dispositivi a semiconduttore di potenza:
Le proprietà del SiC lo rendono un materiale eccellente per i dispositivi di potenza, essenziali nelle applicazioni che richiedono alta efficienza e densità di potenza. I dispositivi di potenza SiC, come i diodi e i transistor, possono funzionare a temperature, frequenze e tensioni più elevate rispetto alle loro controparti in silicio. Questa capacità è particolarmente vantaggiosa nei veicoli elettrici, nei sistemi di energia rinnovabile e negli azionamenti dei motori industriali, dove l'efficienza e l'affidabilità sono fondamentali.
Ceramica conduttiva:
Le ceramiche SiC possono essere rese conduttive, il che ne migliora la lavorabilità e consente la lavorazione a scarica elettrica. Ciò è particolarmente utile per la produzione di pezzi in ceramica SiC di grandi dimensioni o di forma complessa. Quando la resistività della ceramica SiC viene ridotta a meno di 100Ω-cm, è possibile lavorarla con precisione e rapidità, facilitando la produzione di componenti complessi.Ambienti corrosivi:
L'eccellente stabilità chimica e fisica del SiC lo rende un materiale ideale per i componenti esposti ad ambienti corrosivi, come gli ugelli di desolforazione nelle centrali elettriche e i componenti delle pompe chimiche. Queste applicazioni beneficiano della resistenza del SiC agli acidi, agli alcali e ad altri mezzi corrosivi, garantendo un funzionamento a lungo termine e senza manutenzione.
Applicazioni ad alta temperatura:
Il SiC è ampiamente utilizzato nelle applicazioni ad alta temperatura, come gli elementi di riscaldamento elettrico nei forni industriali e i mobili dei forni nelle industrie della ceramica e del vetro. L'elevata conducibilità termica e la resistenza agli shock termici lo rendono adatto a questi ambienti difficili.
Difesa e militare:
