L'evaporazione a fascio elettronico utilizza un'ampia gamma di materiali, tra cui metalli, ceramiche e dielettrici. Questi materiali sono scelti per i loro elevati punti di fusione e vengono utilizzati per depositare film sottili su vari substrati.
Materiali per l'evaporazione:
- L'evaporazione a fascio elettronico è particolarmente adatta ai materiali con alte temperature di fusione. Tra questi vi sono:Metalli tradizionali:
- Alluminio, rame, nichel, titanio, stagno e cromo.Metalli preziosi:
- Oro, argento e platino.Metalli refrattari:
- Tungsteno e tantalio.Altri materiali:
Ossido di indio-stagno, biossido di silicio e altri.
Questi materiali sono scelti per la loro capacità di resistere alle alte temperature generate dal fascio di elettroni, che possono raggiungere i 2.000 gradi Celsius. La versatilità dell'evaporazione a fascio elettronico consente la deposizione di questi materiali su vari substrati.Materiali dei substrati:
- Anche i substrati su cui vengono depositati questi materiali possono variare notevolmente, tra cui:
- Elettronica: Wafer di silicio, quarzo e zaffiro.
- Ceramica: Nitruro di silicio.
Vetro:
Comune in applicazioni come i pannelli solari e il vetro architettonico.La scelta del substrato dipende dall'applicazione prevista e dalle proprietà richieste al prodotto finale.
- Applicazioni e componenti del sistema:
- L'evaporazione a fascio elettronico è utilizzata in diversi settori industriali per applicazioni che richiedono resistenza alle alte temperature, resistenza all'usura e agli agenti chimici o proprietà ottiche specifiche. Il processo coinvolge diversi componenti chiave:Camera da vuoto:
- Essenziale per mantenere un ambiente pulito e prevenire la contaminazione dei materiali evaporati.Sorgente del fascio di elettroni:
In genere un filamento di tungsteno, riscaldato per rilasciare elettroni che vengono poi focalizzati in un fascio da magneti.
Crogiolo: Contiene il materiale di partenza e può essere realizzato con materiali come rame, tungsteno o ceramica tecnica, a seconda dei requisiti di temperatura del processo di evaporazione.
Il sistema è progettato per gestire la produzione in lotti di grandi volumi, rendendolo efficiente per i processi di produzione in settori come quello aerospaziale, automobilistico ed elettronico.
Svantaggi:
