Un target ITO, acronimo di Indium Tin Oxide Target, è un tipo di target di sputtering utilizzato nell'industria dei film sottili. È costituito da una miscela di ossido di indio (In2O3) e di ossido di stagno (SnO2) con un rapporto di peso del 90% di In2O3 e del 10% di SnO2.
L'ITO è una scelta popolare per i target di sputtering grazie alla sua combinazione di conducibilità elettrica e trasparenza ottica. È comunemente utilizzato in applicazioni come quelle dei semiconduttori, del fotovoltaico, dei rivestimenti e delle applicazioni ottiche.
Esistono vari metodi per la produzione di target ITO. Un metodo è quello dei bersagli rotanti spruzzati termicamente, che comprende metodi di produzione al plasma, ad arco e a spruzzo freddo. Altri metodi di produzione includono la fusione, l'estrusione e la pressatura isostatica a caldo (HIP)/sinterizzazione.
I bersagli rotanti, in particolare quelli cilindrici, sono spesso utilizzati nella produzione di rivestimenti di grandi superfici per vetri architettonici e schermi piatti. Questi target presentano diversi vantaggi rispetto a quelli planari. Contengono una quantità maggiore di materiale, con conseguente allungamento dei cicli di produzione e riduzione dei tempi di inattività. L'accumulo di calore viene distribuito uniformemente sulla superficie, consentendo densità di potenza più elevate e una maggiore velocità di deposizione. Questo porta a un miglioramento delle prestazioni durante lo sputtering reattivo.
KINTEK è un fornitore specializzato nella produzione di target ITO di elevata purezza. Offre bersagli cilindrici rotanti per sputtering su misura di varie dimensioni, con diametri che vanno da 2" a 8,625" e lunghezze che vanno da pochi pollici a 160 pollici. I target sono analizzati con tecniche quali la fluorescenza a raggi X (XRF), la spettrometria di massa a scarica di bagliore (GDMS) e il plasma accoppiato induttivamente (ICP) per garantire la massima qualità.
Per ottenere le migliori prestazioni e prevenire incrinature o surriscaldamenti, si raccomanda di incollare il target ITO a una piastra di supporto. I metodi di produzione dei target composti utilizzati da KINTEK comprendono la pressatura a caldo sotto vuoto, la pressatura isostatica a caldo, la pressatura isostatica a freddo e la sinterizzazione a freddo. I target possono essere prodotti in varie forme e dimensioni, tra cui rettangolare, anulare o ovale, a seconda dei requisiti specifici.
In sintesi, un bersaglio ITO è un bersaglio per sputtering composto da una miscela di ossido di indio e ossido di stagno. Viene utilizzato in diversi settori industriali per la deposizione di film sottili e offre una combinazione di conduttività elettrica e trasparenza ottica. Prodotti con metodi diversi, i target ITO sono spesso sotto forma di target ruotabili, che presentano vantaggi rispetto ai target planari in termini di utilizzo del materiale e prestazioni di deposizione. KINTEK è un fornitore specializzato nella produzione di target ITO di elevata purezza in varie dimensioni e forme.
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