Il fascio di elettroni nell'evaporazione a fascio di elettroni (E-beam) viene utilizzato per riscaldare e vaporizzare un campione in un ambiente sotto vuoto.
4 fasi chiave spiegate
1. Generazione e direzione del fascio di elettroni
Il fascio di elettroni viene generato da un filamento.
Viene accelerato ad alta energia cinetica (fino a 10 kV) attraverso un campo elettrico ad alta tensione.
I campi elettrici e magnetici vengono utilizzati per dirigere il fascio con precisione sul materiale sorgente.
Il materiale sorgente è solitamente sotto forma di pellet o di un blocco posto in un crogiolo.
2. Trasferimento di energia e vaporizzazione
Quando il fascio di elettroni colpisce il materiale sorgente, la sua energia cinetica viene convertita in calore.
Ciò fa aumentare la temperatura del materiale.
Quando il materiale si riscalda, gli atomi della sua superficie guadagnano abbastanza energia da superare le forze di legame che li tengono legati al materiale in massa.
Questo fa sì che lascino la superficie sotto forma di vapore.3. Evaporazione e deposizioneGli atomi o le molecole vaporizzate attraversano la camera a vuoto a energia termica (meno di 1 eV).Sono indisturbati da altre particelle, garantendo una deposizione "a vista" su un substrato posizionato a una distanza di lavoro compresa tra 300 mm e 1 metro.
