L'evaporatore termico è un dispositivo utilizzato nei processi di deposizione sotto vuoto per depositare film sottili di materiali su substrati. Funziona riscaldando un materiale al suo punto di vaporizzazione in un ambiente ad alto vuoto, consentendo al vapore di condensare su un substrato, formando un film sottile.
Processo di riscaldamento e vaporizzazione:
Gli evaporatori termici utilizzano una resistenza elettrica per fondere il materiale e portare la pressione del vapore a un livello utile. Il processo di riscaldamento è condotto in un vuoto spinto, che ha due scopi principali: consente al vapore di raggiungere il substrato senza interagire con altri atomi in fase gassosa e riduce l'incorporazione di impurità dal gas residuo nella camera del vuoto. Questo metodo è adatto a materiali con una pressione del vapore elevata rispetto all'elemento riscaldante, per evitare la contaminazione del film.Tipi di evaporazione termica:
- Esistono due tipi principali di evaporazione termica:
- Riscaldamento elettrico a resistenza: Questo metodo prevede il riscaldamento diretto del materiale mediante fili o in crogioli conduttivi. È adatto a materiali che possono essere riscaldati ad alte temperature senza danneggiare il contenitore.
Evaporazione a fascio di elettroni: Questo metodo più sofisticato utilizza un fascio di elettroni ad alta energia per riscaldare un piccolo punto del materiale, consentendo l'evaporazione di materiali con pressioni di vapore inferiori. Il fascio di elettroni viene in genere piegato con un angolo ampio per proteggere il filamento della pistola dal flusso di evaporante.
Deposizione e formazione di film:
Quando il materiale vaporizzato raggiunge il substrato, si condensa e forma un film sottile. Lo spessore del film può essere controllato regolando parametri quali la temperatura dell'evaporante, la velocità di deposizione e la distanza tra l'evaporante e il substrato.Applicazioni e vantaggi:
L'evaporazione termica è ampiamente utilizzata nella produzione di dispositivi elettronici e ottici, tra cui celle solari, display OLED e MEMS. È apprezzata per la sua versatilità nel depositare un'ampia gamma di materiali e per la sua capacità di produrre film sottili di alta qualità.
Considerazioni pratiche:
