Lo spessore del rivestimento sputter dell'oro varia tipicamente da 2 a 20 nm per le applicazioni SEM. Questo rivestimento ultrasottile viene applicato a campioni non conduttori o scarsamente conduttori per prevenire la carica e migliorare il rapporto segnale/rumore aumentando l'emissione di elettroni secondari.
Spiegazione dettagliata:
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Scopo e applicazione:
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Il rivestimento in oro viene utilizzato principalmente nella microscopia elettronica a scansione (SEM) per rivestire campioni non conduttivi o scarsamente conduttivi. Questo rivestimento è essenziale perché impedisce l'accumulo di campi elettrici statici sul campione, che potrebbero altrimenti interferire con il processo di imaging. Inoltre, il rivestimento metallico aumenta l'emissione di elettroni secondari dalla superficie del campione, migliorando la visibilità e la chiarezza delle immagini acquisite dal SEM.Gamma di spessori:
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- I materiali di riferimento indicano che lo spessore tipico dei film d'oro sputtered per il SEM è compreso tra 2 e 20 nm. Questo intervallo è stato scelto per garantire che il rivestimento sia abbastanza sottile da non oscurare i dettagli del campione, ma abbastanza spesso da fornire un'adeguata conduttività elettrica e un'emissione di elettroni secondari.
- Esempi e tecniche specifiche:
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In un esempio, un wafer da 6 pollici è stato rivestito con 3 nm di oro/palladio (Au/Pd) utilizzando uno Sputter Coater SC7640. Le impostazioni utilizzate erano 800 V e 12 mA con gas argon e un vuoto di 0,004 bar. Il rivestimento è risultato uniforme su tutto il wafer.Un altro esempio riguarda la deposizione di un film di platino di 2 nm su un film di Formvar rivestito di carbonio, sempre utilizzando lo Sputter Coater SC7640. Le impostazioni erano 800 V e 10 mA con gas argon e un vuoto di 0,004 bar.
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Dettagli tecnici e formule:
Lo spessore del rivestimento Au/Pd può essere calcolato con la formula:
[ Th = 7,5 I t ]
