L'analisi XRF (Fluorescenza a raggi X) penetra tipicamente nel campione a profondità comprese tra 1-1000 µm. La profondità di penetrazione è influenzata dal peso atomico degli elementi presenti nel campione; gli elementi più leggeri sono più difficili da rilevare a livelli più profondi rispetto a quelli più pesanti. Questo perché i raggi X caratteristici emessi durante l'analisi sono generalmente dovuti agli atomi di superficie a queste profondità. La capacità di rilevare gli elementi a diverse profondità è fondamentale per un'analisi accurata, poiché influisce sul segnale ricevuto dallo spettrometro XRF. Gli elementi a più alta energia, in genere quelli con un numero atomico più elevato, hanno una profondità di fuga maggiore in un campione, il che significa che possono essere rilevati da strati più profondi rispetto agli elementi a più bassa energia. Questa sensibilità alla profondità è un fattore chiave nella preparazione e nell'interpretazione dei risultati delle analisi XRF.
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