I bersagli sputtering sono disponibili in un'ampia varietà di dimensioni, da quelli minuscoli con diametro inferiore a un pollice a quelli massicci che possono estendersi per oltre un metro di lunghezza.
Quali sono le dimensioni degli obiettivi sputtering? 5 fattori chiave da considerare
1. Variabilità delle dimensioni
Le dimensioni dei target di sputtering dipendono in larga misura dalle esigenze specifiche del film sottile da creare.
I target piccoli, spesso di diametro inferiore a un pollice, sono ideali per le applicazioni che richiedono una deposizione minima di materiale.
D'altro canto, i bersagli più grandi, che possono superare la lunghezza di un metro, sono utilizzati in applicazioni che richiedono una quantità sostanziale di deposito di materiale.
2. Forma e personalizzazione
Tradizionalmente, i bersagli di sputtering sono rettangolari o circolari.
Tuttavia, le moderne tecniche di produzione hanno permesso di produrre bersagli di varie forme, tra cui quadrati, triangoli e forme cilindriche come i bersagli rotazionali.
Queste forme specializzate sono progettate per ottimizzare il processo di deposizione, offrendo tassi di deposizione più precisi e più rapidi.
3. Segmentazione
Per le applicazioni di sputtering di grandi dimensioni, i bersagli in un unico pezzo possono non essere praticabili a causa di limitazioni tecniche o di attrezzature.
In questi casi, i target vengono segmentati in pezzi più piccoli che vengono poi uniti tra loro utilizzando giunzioni speciali come giunzioni di testa o smussate.
Questo approccio consente di creare bersagli di grandi dimensioni senza compromettere l'integrità del processo di deposizione.
4. Dimensioni standard e personalizzate
I produttori offrono in genere una gamma di dimensioni standard per i target rotondi e rettangolari.
Tuttavia, accolgono anche richieste personalizzate, consentendo ai clienti di specificare le dimensioni più adatte alle loro specifiche esigenze applicative.
Questa flessibilità garantisce che il processo di sputtering possa essere personalizzato per soddisfare i requisiti esatti di vari settori e applicazioni.
5. Considerazioni su purezza e materiali
Le dimensioni e la forma del target non sono le uniche considerazioni da fare; anche la purezza del materiale è fondamentale.
I target sono disponibili in vari livelli di purezza, dal 99,5% al 99,9999%, a seconda del metallo e dell'applicazione.
Livelli di purezza più elevati possono migliorare la qualità del film sottile, ma possono anche aumentare i costi del materiale.
Pertanto, la scelta del livello di purezza appropriato è un equilibrio tra costi e prestazioni.
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