Le dimensioni dei bersagli sputtering variano notevolmente, da meno di un pollice (2,5 cm) di diametro a oltre una iarda (0,9 m) di lunghezza per i bersagli rettangolari. I bersagli rotondi standard hanno in genere un diametro compreso tra 1" e 20", mentre quelli rettangolari possono raggiungere e superare i 2000 mm di lunghezza.
Spiegazione dettagliata:
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Variabilità delle dimensioni: Le dimensioni dei target di sputtering dipendono fortemente dai requisiti specifici del film sottile da creare. I bersagli piccoli, spesso di diametro inferiore a un pollice, sono adatti ad applicazioni che richiedono una deposizione di materiale ridotta. Al contrario, bersagli più grandi, che possono superare la lunghezza di un metro, sono utilizzati in applicazioni che richiedono una quantità significativa di deposizione di materiale.
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Forma e personalizzazione: Tradizionalmente, i bersagli di sputtering sono rettangolari o circolari. Tuttavia, i progressi nella produzione hanno portato alla produzione di target di varie forme, tra cui quadrati, triangoli e forme cilindriche come il target rotazionale. Queste forme specializzate sono progettate per ottimizzare il processo di deposizione, offrendo tassi di deposizione più precisi e più rapidi.
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Segmentazione: Per le applicazioni di sputtering di grandi dimensioni, i target in un unico pezzo potrebbero non essere fattibili a causa di limitazioni tecniche o di attrezzature. In questi casi, i target vengono segmentati in pezzi più piccoli che vengono poi uniti tra loro utilizzando giunzioni speciali, come giunzioni di testa o smussate. Questo approccio consente di creare target di grandi dimensioni senza compromettere l'integrità del processo di deposizione.
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Dimensioni standard e personalizzate: I produttori offrono in genere una gamma di dimensioni standard per i target rotondi e rettangolari. Tuttavia, accolgono anche richieste personalizzate, consentendo ai clienti di specificare le dimensioni più adatte alle loro specifiche esigenze applicative. Questa flessibilità garantisce che il processo di sputtering possa essere personalizzato per soddisfare i requisiti esatti di vari settori e applicazioni.
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Considerazioni su purezza e materiali: Le dimensioni e la forma del target non sono le uniche considerazioni da fare; anche la purezza del materiale è fondamentale. I target sono disponibili in vari livelli di purezza, dal 99,5% al 99,9999%, a seconda del metallo e dell'applicazione. Livelli di purezza più elevati possono migliorare la qualità del film sottile, ma possono anche aumentare i costi del materiale. Pertanto, la scelta del livello di purezza appropriato è un equilibrio tra costi e prestazioni.
In sintesi, i target di sputtering sono disponibili in un'ampia gamma di dimensioni e forme, con la possibilità di personalizzazione per soddisfare le esigenze di applicazioni specifiche. La scelta delle dimensioni e della forma del target è influenzata dalla velocità di deposizione desiderata, dalle dimensioni del substrato e dai requisiti specifici dell'applicazione del film sottile.
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