La deposizione fisica da vapore (PVD) è un processo utilizzato per depositare un film sottile di materiale su un substrato.
Questo processo è comunemente utilizzato nella produzione di semiconduttori e in altri settori.
Il PVD prevede diverse fasi chiave: vaporizzazione, trasporto e condensazione.
5 fasi chiave per comprendere la deposizione fisica da vapore
1. La vaporizzazione
La prima fase della PVD è la vaporizzazione.
Si tratta di convertire il materiale da depositare in uno stato di vapore.
La vaporizzazione si ottiene in genere mediante elettricità ad alta potenza, laser o altri metodi di riscaldamento.
L'obiettivo è quello di gassificare il materiale precursore solido in condizioni di vuoto ad alta temperatura.
2. Trasporto
Una volta che il materiale è allo stato di vapore, viene trasportato attraverso una regione di bassa pressione dalla sorgente al substrato.
Questa fase richiede un ambiente sotto vuoto per ridurre al minimo le collisioni con altre particelle.
Il vuoto assicura un movimento efficiente degli atomi o delle molecole vaporizzate.
3. Condensazione
La fase finale prevede la condensazione del vapore sul substrato.
Quando gli atomi vaporizzati raggiungono il substrato, si attaccano alla sua superficie e formano un film sottile attraverso il processo di condensazione.
In questo modo si ottiene una deposizione efficiente e di elevata purezza del materiale.
4. Metodi PVD
I metodi PVD sono preferiti per la loro capacità di produrre film sottili con elevata purezza ed efficienza.
I due metodi più comuni di PVD sono lo sputtering e l'evaporazione termica.
Lo sputtering è il metodo più utilizzato per la fabbricazione di prodotti VLSI (Very Large Scale Integration).
È particolarmente efficace per depositare film sottili di materiali.
5. Applicazioni ambientali e industriali
Il PVD è un processo ecologico.
Offre il vantaggio di poter depositare quasi tutti i materiali inorganici.
Ciò lo rende versatile e prezioso in diverse applicazioni industriali.
Lo spessore dei film prodotti può variare da pochi angstrom a migliaia di angstrom.
Le velocità di deposizione variano in genere da 1 a 100 A/s.
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