Lo spessore di un bersaglio sputtering non è esplicitamente indicato nei riferimenti forniti, ma possiamo dedurre alcune informazioni rilevanti.I target di sputtering sono in genere lastre solide realizzate con materiali di alta qualità come metalli, leghe o ceramiche, e le loro dimensioni sono specifiche per ogni strumento.Sebbene i riferimenti si concentrino maggiormente sulle proprietà e sulle applicazioni dei bersagli sputtering, come la purezza, la densità e la rugosità superficiale, non indicano direttamente lo spessore dei bersagli.Tuttavia, lo spessore dei rivestimenti prodotti dallo sputtering è indicato come compreso tra gli angstrom e i micron, che è significativamente più sottile del bersaglio stesso.Per le specifiche precise dello spessore, è necessario consultare le schede tecniche del produttore o gli standard industriali.
Punti chiave spiegati:
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Definizione e composizione dei target di sputtering:
- I bersagli sputtering sono lastre solide fatte di materiali come metalli puri, leghe o composti (ad esempio, ossidi o nitruri).
- Vengono utilizzati nel processo di sputtering per produrre film sottili su substrati.
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Forma e dimensioni dei target di sputtering:
- Le mire possono essere piatte o cilindriche e le loro dimensioni esatte sono specifiche dell'utensile.
- I target piatti sono più comuni ed economici, mentre quelli a forma di anello sono utilizzati in progetti di camere specifiche.
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Qualità e requisiti dei materiali:
- I target per lo sputtering devono essere di alta qualità, privi di crepe e soddisfare standard rigorosi di purezza, densità, granulometria e rugosità superficiale.
- Questi requisiti garantiscono la produzione di film sottili privi di contaminazione.
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Spessore dei rivestimenti rispetto agli obiettivi:
- I riferimenti indicano che lo spessore dei rivestimenti prodotti mediante sputtering varia da angstrom a micron.
- Si tratta di uno spessore significativamente inferiore a quello del bersaglio stesso, il che indica che il bersaglio deve essere molto più spesso per fungere da materiale sorgente durevole.
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Deduzione sullo spessore del bersaglio:
- Sebbene lo spessore esatto dei target di sputtering non sia specificato, in genere si tratta di lastre solide progettate per resistere al processo di sputtering.
- Lo spessore dipende probabilmente dall'applicazione, dal tipo di materiale e dai requisiti dello strumento.
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Considerazioni pratiche per gli acquirenti:
- Quando si acquistano i target di sputtering, occorre considerare le dimensioni specifiche dell'utensile, la qualità del materiale e i requisiti dell'applicazione.
- Per le specifiche di spessore precise, consultare le schede tecniche del produttore o gli standard industriali, poiché i riferimenti forniti non specificano questo dettaglio.
Concentrandoci sulle proprietà e sulle applicazioni dei target di sputtering, possiamo dedurre che il loro spessore è adattato alle esigenze specifiche del processo di sputtering e dell'apparecchiatura utilizzata.Per misurazioni esatte, si raccomanda di effettuare ulteriori ricerche o di consultare i produttori.
Tabella riassuntiva:
| Aspetto | Dettagli |
|---|---|
| Composizione | Metalli, leghe o ceramiche (ad esempio, ossidi, nitruri) |
| Forma e dimensioni | Piana o cilindrica; le dimensioni sono specifiche per ogni utensile |
| Qualità del materiale | Elevata purezza, densità, granulometria e ruvidità della superficie |
| Spessore del rivestimento | Varia da angstrom a micron (molto più sottile del target stesso) |
| Spessore del target | Non esplicitamente indicato; si deduce che lo spessore sia maggiore e specifico per l'utensile. |
| Suggerimenti per l'acquisto | Consultare le schede tecniche del produttore o gli standard industriali per ottenere dettagli precisi |
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