Il rivestimento metallico per la microscopia elettronica a scansione (SEM) prevede tipicamente l'applicazione di uno strato sottilissimo di metalli elettricamente conduttori come oro (Au), oro/palladio (Au/Pd), platino (Pt), argento (Ag), cromo (Cr) o iridio (Ir). Questo processo, noto come sputter coating, è fondamentale per i campioni non conduttivi o scarsamente conduttivi per prevenire la carica e migliorare la qualità delle immagini migliorando il rapporto segnale/rumore.
Spiegazione dettagliata:
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Scopo del rivestimento metallico:
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Nel SEM, i rivestimenti metallici vengono applicati ai campioni non conduttivi o con scarsa conducibilità elettrica. Ciò è necessario perché tali campioni possono accumulare campi elettrici statici, provocando effetti di carica che distorcono l'immagine e interferiscono con il fascio di elettroni. Rivestendo il campione con un metallo conduttivo, questi problemi vengono attenuati, consentendo immagini più chiare e precise.Tipi di metalli utilizzati:
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- Il metallo più comunemente usato per il rivestimento sputter è l'oro, grazie alla sua elevata conduttività e alla piccola dimensione dei grani, ideale per l'imaging ad alta risoluzione. Vengono utilizzati anche altri metalli come il platino, l'argento e il cromo, a seconda dei requisiti specifici dell'analisi o della necessità di immagini ad altissima risoluzione. Ad esempio, il platino viene spesso utilizzato per la sua elevata resa in elettroni secondari, mentre l'argento offre il vantaggio della reversibilità, che può essere utile in alcune configurazioni sperimentali.Vantaggi dei rivestimenti metallici:
- Riduzione dei danni del fascio: I rivestimenti metallici possono proteggere il campione dai danni del fascio di elettroni, particolarmente importanti per i materiali sensibili al fascio.
- Aumento della conduzione termica: Aiuta a dissipare il calore generato dal fascio di elettroni, evitando danni termici al campione.
- Migliore emissione di elettroni secondari: I rivestimenti metallici migliorano l'emissione di elettroni secondari, fondamentali per l'imaging al SEM. Ciò comporta un migliore rapporto segnale/rumore e immagini più chiare.
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Riduzione della penetrazione del fascio e miglioramento della risoluzione dei bordi: I rivestimenti metallici possono ridurre la profondità di penetrazione del fascio di elettroni nel campione, migliorando la risoluzione dei bordi delle caratteristiche del campione.
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Spessore del rivestimento:
Lo spessore delle pellicole metalliche sputtered varia in genere da 2 a 20 nm. Lo spessore ottimale dipende dalle proprietà specifiche del campione e dai requisiti dell'analisi SEM. Ad esempio, un rivestimento più sottile potrebbe essere sufficiente per ridurre gli effetti di carica, mentre un rivestimento più spesso potrebbe essere necessario per una migliore risoluzione dei bordi o una maggiore resa degli elettroni secondari.
Applicazione in vari campioni: