Il rivestimento migliore per il SEM dipende dai requisiti specifici dell'analisi, come la risoluzione, la conduttività e l'esigenza di spettroscopia a raggi X. Storicamente, l'oro è stato il materiale più utilizzato grazie alla sua elevata conduttività e alle piccole dimensioni dei grani, ideali per l'imaging ad alta risoluzione. Tuttavia, per l'analisi a raggi X a dispersione di energia (EDX), si preferisce in genere il carbonio, il cui picco di raggi X non interferisce con altri elementi.
Per l'imaging ad altissima risoluzione, si utilizzano materiali come il tungsteno, l'iridio e il cromo, grazie alle loro granulometrie ancora più fini. Si utilizzano anche platino, palladio e argento, con l'argento che offre il vantaggio della reversibilità. Nei moderni SEM, la necessità di un rivestimento può essere ridotta grazie a funzionalità come le modalità a bassa tensione e a basso vuoto, che consentono di esaminare campioni non conduttivi con artefatti di carica minimi.
Il rivestimento sputter, in particolare con metalli come l'oro, l'iridio o il platino, è un metodo standard per preparare campioni non conduttivi o scarsamente conduttivi per il SEM. Questo rivestimento aiuta a prevenire la carica, a ridurre i danni termici e a migliorare l'emissione di elettroni secondari, migliorando così la qualità delle immagini. Tuttavia, quando si utilizza la spettroscopia a raggi X, è preferibile un rivestimento in carbonio per evitare interferenze con i picchi dei raggi X di altri elementi.
In sintesi, la scelta del materiale di rivestimento per il SEM dipende dall'applicazione specifica e dai requisiti analitici. L'oro e il carbonio sono comunemente utilizzati, con l'oro preferito per l'imaging ad alta risoluzione e il carbonio per l'analisi EDX. Altri materiali come il tungsteno, l'iridio, il platino e l'argento sono utilizzati per esigenze specifiche come l'imaging ad altissima risoluzione o la reversibilità.
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