I target di sputtering sono classificati in tipi di metallo, lega e ceramica, ognuno dei quali serve a scopi specifici nella deposizione di film sottili. Questi bersagli possono essere modellati in varie forme, tra cui le tradizionali forme rettangolari o circolari, e forme più specializzate come i bersagli rotazionali.
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Obiettivi di sputtering metallici: Sono realizzati con elementi metallici puri. Sono comunemente utilizzati in applicazioni in cui la purezza del metallo è fondamentale, come nella produzione di semiconduttori e chip per computer. I target metallici possono essere costituiti da qualsiasi metallo elementare adatto alle proprietà del film sottile desiderato.
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Obiettivi di sputtering in lega: Questi bersagli sono costituiti da miscele di metalli. Le leghe sono scelte per ottenere proprietà specifiche nei film sottili, come una maggiore durezza, una migliore conduttività o una maggiore resistenza alla corrosione. La composizione della lega può essere personalizzata per soddisfare i requisiti specifici dell'applicazione.
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Obiettivi di sputtering in ceramica: Questi bersagli sono realizzati con composti non metallici, in genere ossidi o nitruri. I target ceramici sono utilizzati per creare film sottili con elevata durezza e resistenza all'usura, che li rendono adatti ad applicazioni in utensili e strumenti da taglio. I materiali ceramici spesso forniscono proprietà di isolamento termico ed elettrico.
Le forme dei target di sputtering si sono evolute dalle forme tradizionali a forme più specializzate. Ad esempio,bersagli rotazionali sono cilindrici e progettati per fornire una deposizione di film sottile più precisa. Questi bersagli hanno una superficie più ampia, che consente tassi di deposizione più rapidi. La possibilità di personalizzare la forma dei target di sputtering consente un migliore adattamento a sistemi e requisiti di deposizione specifici.
In sintesi, i target di sputtering sono componenti essenziali nel processo di deposizione sputter, dove forniscono la fonte di materiale per la creazione di film sottili. La scelta del tipo di target (metallo, lega o ceramica) e della forma dipende dall'applicazione specifica e dalle proprietà desiderate del film sottile.
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