Lo sputtering RF è una tecnica molto efficace per la produzione di film di alta qualità. Offre numerosi vantaggi che la rendono una scelta privilegiata per molte applicazioni.
Quali sono i 6 vantaggi principali dello sputtering RF?
1. Miglioramento della qualità del film e della copertura del gradino
Lo sputtering a radiofrequenza è superiore ai metodi di evaporazione nella produzione di film di migliore qualità e copertura dei gradini. Ciò è fondamentale nelle applicazioni in cui è necessaria una deposizione precisa e uniforme del film.
2. Versatilità nella deposizione di materiali
Questa tecnica è in grado di gestire un'ampia gamma di materiali, tra cui isolanti, metalli, leghe e compositi. È particolarmente efficace con gli obiettivi isolanti, che sono difficili da gestire con altri metodi a causa dell'accumulo di cariche.
3. Riduzione degli effetti di carica e dell'arco elettrico
L'uso di una sorgente RF CA a una frequenza di 13,56 MHz aiuta a evitare gli effetti di carica e riduce l'arco elettrico. Questo perché il segno del campo elettrico cambia su ogni superficie all'interno della camera di plasma con la radiofrequenza, impedendo un accumulo costante di tensione negativa sul catodo.
4. Funzionamento a basse pressioni
Lo sputtering a radiofrequenza può funzionare a basse pressioni (da 1 a 15 mTorr) mantenendo il plasma, con conseguente maggiore efficienza. Questo funzionamento a bassa pressione è vantaggioso per creare film densi e di alta qualità.
5. Ampio campo di applicazione
Questa tecnica può essere utilizzata per spruzzare qualsiasi tipo di film, rendendola estremamente versatile in varie applicazioni industriali e di ricerca.
6. Prestazioni migliorate con lo sputtering a diodi RF
La tecnica di sputtering a diodi RF recentemente sviluppata offre prestazioni ancora migliori rispetto allo sputtering RF tradizionale. Non richiede il confinamento magnetico, garantisce un'uniformità ottimale del rivestimento e riduce al minimo problemi come l'erosione della pista, l'avvelenamento del bersaglio e l'arco elettrico.
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