Per misurare lo spessore di un film sottile utilizzando la microscopia elettronica a scansione (SEM), il processo prevede in genere l'analisi di viste trasversali del film sottile. Questo metodo è particolarmente efficace per i film sottili semiconduttori con spessori compresi tra 100 nm e 100 μm. Il SEM non solo misura lo spessore, ma fornisce anche informazioni sulla morfologia superficiale e sulla composizione elementare del film, soprattutto se abbinato a un rilevatore di spettroscopia a dispersione di energia (EDS).
Analisi SEM trasversale:
Il primo passo per misurare lo spessore di un film sottile con il SEM è la preparazione di un campione in sezione. Ciò comporta il taglio del campione in modo da esporre una sezione trasversale pulita e chiara del film sottile. Il campione viene poi montato su uno stub e rivestito con un sottile strato di materiale conduttivo, solitamente oro o platino, per evitare che si carichi durante il processo di imaging al SEM.Imaging e misurazione:
Una volta preparato, il campione viene sottoposto a imaging con il SEM. Il fascio di elettroni scorre sulla superficie del campione e le interazioni tra gli elettroni e il campione generano segnali che forniscono informazioni sulla topografia superficiale del campione, sulla sua composizione e su altre caratteristiche. Per la misurazione dello spessore, la vista trasversale è fondamentale in quanto consente di visualizzare direttamente lo spessore del film. Lo spessore può essere misurato direttamente dalle immagini SEM analizzando la distanza tra la superficie superiore del film e il substrato.
Precisione e considerazioni:
L'accuratezza della misurazione dello spessore dipende dalla risoluzione del SEM e dalla qualità della preparazione del campione. Il SEM ad alta risoluzione può fornire misure con precisione nanometrica. Tuttavia, è importante notare che la composizione e la struttura del campione devono essere note per garantire un'analisi accurata. Se la composizione non è nota, si possono verificare errori nella misurazione dello spessore.
Vantaggi e limiti:
