Per evaporare il metallo, esistono due metodi comunemente utilizzati: l'evaporazione a fascio di elettroni e l'evaporazione termica.
1. Evaporazione a fascio di elettroni: Questo metodo utilizza un fascio di elettroni focalizzato per riscaldare ed evaporare i metalli. La temperatura degli elettroni è in genere di circa 3000 °C e una sorgente di corrente continua ad alta tensione li accelera verso il materiale bersaglio. Il fascio di elettroni viene diretto in un punto specifico della superficie del metallo, provocando un rapido riscaldamento e la vaporizzazione. Questo processo è particolarmente utile per i metalli con punti di fusione elevati, come il tungsteno e il tantalio. L'evaporazione a fascio di elettroni comporta una contaminazione minima del crogiolo.
2. Evaporazione termica: In questo metodo si utilizza un evaporatore di metalli per farli evaporare su un substrato o su una pellicola. L'evaporatore di metalli è generalmente costituito da un crogiolo e da una fonte di calore. Il metallo viene posto nel crogiolo, che viene poi riscaldato ad alte temperature. Quando il metallo raggiunge il punto di fusione, si trasforma in un liquido e alla fine evapora in un vapore. Questo vapore si condensa sulle superfici all'interno della camera, ricoprendole con un sottile strato di metallo. L'evaporazione termica può essere eseguita utilizzando una maschera per rivestire selettivamente modelli specifici su un campione. Per l'evaporazione si possono utilizzare metalli diversi come alluminio, oro, cromo, germanio, nichel, ossido di silicio e titanio.
Entrambi i metodi richiedono un ambiente ad alto vuoto per ridurre al minimo le collisioni di gas e le reazioni indesiderate durante il processo di deposizione. L'evaporatore di metalli deve essere utilizzato in condizioni controllate e devono essere seguiti protocolli di sicurezza adeguati. È fondamentale ricevere l'autorizzazione e la formazione da parte di una persona qualificata, come il dottor Knobel del dipartimento di Fisica, prima di utilizzare l'evaporatore di metalli.
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