La deposizione chimica da vapore (CVD) è un processo utilizzato per depositare film sottili e rivestimenti su un substrato provocando una reazione chimica o la decomposizione di reagenti gassosi. Questo metodo prevede tre fasi principali: evaporazione di un composto volatile, decomposizione termica o reazione chimica del vapore e deposizione dei prodotti non volatili della reazione sul substrato. Il processo richiede in genere temperature elevate e intervalli di pressione specifici per facilitare le reazioni in modo efficace.
Spiegazione dettagliata:
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Evaporazione di un composto volatile:
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Nella prima fase, viene fatto evaporare un composto volatile relativo al materiale da depositare. Questo composto serve come precursore, che spesso è un alogenuro o un idruro. Il precursore è progettato per trasportare e preparare il materiale di deposizione all'interazione con il substrato.Decomposizione termica o reazione chimica:
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Il precursore vaporizzato entra in una camera di reazione, spesso sotto vuoto, dove subisce una decomposizione termica o reagisce con altri gas, liquidi o vapori presenti nella camera. Questa fase è cruciale in quanto scompone il precursore in atomi e molecole pronti a legarsi al substrato. Le condizioni di reazione, comprese temperatura e pressione, sono attentamente controllate per garantire le trasformazioni chimiche desiderate.
Deposizione di prodotti di reazione non volatili:
Le specie decomposte o reagite si depositano sul substrato, formando un film sottile o un rivestimento. Questa deposizione avviene perché i prodotti di reazione non sono volatili e aderiscono alla superficie del substrato. La qualità e lo spessore del film dipendono dai parametri del processo, tra cui la temperatura, la pressione e la natura dei reagenti.Applicazioni e materiali:
La CVD è ampiamente utilizzata per depositare vari materiali, tra cui siliciuri, ossidi metallici, solfuri e arsenidi. La versatilità del processo consente di adattarlo a diverse applicazioni, dalla produzione di semiconduttori alla creazione di rivestimenti protettivi su vari materiali.
