La pressione iniziale di una pompa di diffusione è tipicamente la pressione atmosferica, pari a circa 760 Torr (101 kPa).
Questa è la pressione iniziale contro la quale la pompa inizia a funzionare per ridurre la pressione in una camera e raggiungere livelli di vuoto elevati.
4 punti chiave spiegati
1. Pressione iniziale e sequenza di pompaggio
In una configurazione tipica, il processo per ottenere un alto vuoto inizia a pressione atmosferica.
Inizialmente viene utilizzata una pompa volumetrica per ridurre la pressione dai livelli atmosferici (760 Torr, 101 kPa) a circa 25 Torr (3 kPa).
Questa fase è fondamentale perché rimuove la maggior parte del gas dalla camera.
2. Uso di pompe di diffusione
Dopo la riduzione iniziale della pressione, si utilizzano pompe più specializzate, come le pompe di diffusione.
Le pompe di diffusione sono progettate per raggiungere pressioni molto basse, in genere comprese tra 10-2 e 10-6 Torr.
Sono particolarmente efficaci dopo che altre pompe hanno ridotto la pressione a un livello gestibile, dove le pompe di diffusione possono subentrare e perfezionare ulteriormente le condizioni di vuoto.
3. Requisiti operativi
Le pompe di diffusione non funzionano in modo indipendente; richiedono una pompa di supporto (spesso una pompa meccanica) per mantenere una pressione inferiore all'ingresso della pompa di diffusione.
Questa configurazione garantisce che la pompa di diffusione possa ridurre efficacemente la pressione ai livelli di vuoto elevati desiderati senza essere sopraffatta dalle alte pressioni iniziali.
4. Configurazione del sistema
A seconda dei requisiti specifici del sistema di vuoto, è possibile utilizzare diverse configurazioni di pompe.
Ad esempio, un sistema a due stadi potrebbe iniziare a pressione atmosferica e utilizzare una combinazione di pompe per raggiungere una pressione di 4,5 x 10-2 Torr.
Un sistema a tre stadi con una pompa di diffusione potrebbe puntare a pressioni ancora più basse, come 8,0 x 10-6 Torr.
In sintesi, la pressione di partenza per una pompa di diffusione in un sistema da vuoto è la pressione atmosferica, dalla quale il sistema viene progressivamente evacuato per raggiungere le condizioni di alto vuoto desiderate.
La sequenza e il tipo di pompe utilizzate dipendono dai requisiti specifici di vuoto e dalla natura dei materiali trattati.
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