I sistemi di evaporazione termica sono ampiamente utilizzati in vari settori industriali, ma presentano un notevole svantaggio.
3 punti chiave sui principali svantaggi dei sistemi di evaporazione termica
1. Alti livelli di impurità
I sistemi di evaporazione termica comportano spesso alti livelli di impurità.
Ciò è dovuto principalmente al fatto che il processo prevede il riscaldamento del materiale di partenza a temperature molto elevate in una camera a vuoto.
Durante questo riscaldamento, anche le impurità o i contaminanti presenti nel materiale di partenza possono evaporare e diventare parte del film depositato.
Questo può portare a film di scarsa qualità, il che è problematico per le applicazioni che richiedono un'elevata purezza.
2. Film a bassa densità
I film prodotti per evaporazione termica hanno spesso una bassa densità.
Ciò significa che potrebbero non aderire bene al substrato ed essere porosi.
La porosità può influire sulle proprietà meccaniche ed elettriche del film.
La bassa densità contribuisce anche a livelli elevati di impurità, poiché i pori possono intrappolare le impurità o permettere loro di migrare attraverso il film.
3. Mitigazione con l'aggiunta di ioni
Sebbene l'evaporazione termica produca intrinsecamente film con questi svantaggi, l'uso di sorgenti ioniche può contribuire a migliorare la situazione.
L'assistenza ionica consiste nel bombardare il film di deposito con ioni, che possono aumentare la densità e ridurre la porosità del film.
Questo processo può anche contribuire a rimuovere o ridurre le impurità, migliorando così la qualità complessiva del film.
Tuttavia, l'aggiunta di sorgenti ioniche aumenta la complessità e il costo del sistema, che potrebbe non essere adatto a tutte le applicazioni.
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