La differenza tra la spettroscopia a dispersione di energia (EDS) e la fluorescenza a raggi X (XRF) risiede principalmente nella loro applicazione, nel metodo di rilevamento e nella scala di analisi. L'EDS è utilizzato per l'analisi della composizione di microaree ed è spesso abbinato a microscopi elettronici per analizzare la composizione elementare di aree molto piccole, in genere nell'intervallo di 1 μm. Funziona bombardando un campione con fasci di elettroni nel vuoto, stimolando l'emissione di raggi X caratteristici che possono essere utilizzati per identificare e quantificare gli elementi da B a U nella tavola periodica. L'EDS è particolarmente efficace per l'analisi qualitativa e semiquantitativa, con un limite di rilevamento dello 0,1%-0,5% e un errore quantitativo di circa il 2% per gli elementi con numero atomico medio.
L'XRF è invece un metodo di controllo non distruttivo utilizzato per l'analisi di materiali in massa. Utilizza le radiazioni per eccitare gli atomi di un campione, provocando l'emissione di raggi X secondari caratteristici degli elementi presenti. Questi raggi X secondari vengono poi rilevati e analizzati per determinare la composizione elementare del campione. La XRF è ampiamente utilizzata in vari campi come la scienza dei materiali, la geologia e l'analisi ambientale, grazie alla sua capacità di fornire una composizione chimica quasi completa senza danneggiare il campione. La XRF può essere ulteriormente classificata in Energy Dispersive XRF (ED-XRF) e Wavelength Dispersive XRF (WD-XRF), con quest'ultima che offre una maggiore risoluzione ma è più complessa e costosa.
In sintesi, l'EDS è adatto per microanalisi dettagliate, spesso in combinazione con la microscopia elettronica, concentrandosi su aree molto piccole e fornendo analisi elementari dettagliate. L'XRF, invece, è utilizzato per analisi più ampie e non distruttive di campioni più grandi, fornendo dati completi sulla composizione elementare in vari settori.
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