Una pompa per vuoto a diffusione è un tipo di pompa per vuoto che funziona senza parti in movimento, utilizzando il vapore di un fluido bollente per catturare e rimuovere le molecole d'aria da una camera, ottenendo così livelli di vuoto elevati, compresi tra 10^-2 e 10^-10 torr. Questo tipo di pompa si distingue dalle pompe meccaniche, che utilizzano meccanismi fisici come pistoni o alette per spostare l'aria. Le pompe a diffusione sono classificate come pompe a trascinamento di fluido, in cui il vapore del fluido di lavoro agisce per intrappolare le molecole d'aria, che vengono poi indirizzate e raffreddate, rilasciando le molecole d'aria in un punto diverso. Questo processo è fondamentale in diverse applicazioni industriali, come la microscopia a fascio di elettroni, la deposizione sotto vuoto, i rivestimenti e i forni a vuoto.
Il funzionamento di una pompa da vuoto a diffusione prevede l'uso di una pompa di mantenimento per mantenere una bassa pressione sull'avanfossa, assicurando che gli oli della pompa non risalgano nella camera. Ciò si ottiene attraverso una pompa del vuoto automatica e interbloccata, combinata con il corretto sequenziamento delle valvole del vuoto. Il design e il funzionamento della pompa sono ottimizzati per evitare la contaminazione della camera del vuoto con il fluido della pompa, essenziale per mantenere l'integrità dell'ambiente del vuoto.
Nei sistemi a vuoto, le pompe a diffusione sono spesso utilizzate insieme ad altri tipi di pompe, come quelle meccaniche o a palette, per raggiungere il livello di vuoto desiderato. Le pompe meccaniche sono tipicamente utilizzate per il pompaggio iniziale dalla pressione atmosferica a un livello intermedio, mentre le pompe a diffusione sono impiegate per raggiungere pressioni inferiori a quelle che le sole pompe meccaniche possono generare. Questa combinazione di pompe è comune nei forni a vuoto e in altre applicazioni ad alto vuoto in cui è fondamentale mantenere un ambiente pulito e stabile.
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