Quando si parla di evaporazione, il riscaldamento del materiale di partenza è una fase cruciale.
I metodi principali per ottenere questo risultato sono due: il riscaldamento resistivo e il riscaldamento a fascio di elettroni.
Quali sono i due modi più comuni per riscaldare il materiale di partenza nell'evaporazione?
1. Riscaldamento resistivo
Il riscaldamento resistivo prevede l'utilizzo di un elemento riscaldante o di un filamento per riscaldare il materiale di partenza.
Il filamento è in genere costituito da materiali come tungsteno, molibdeno, quarzo o grafite.
Una corrente elevata viene fatta passare attraverso un filo o un foglio resistivo che contiene il materiale metallico.
Quando il filamento si riscalda, raggiunge il suo punto di fusione.
Questo calore viene trasferito al materiale di partenza, facendolo evaporare o sublimare in vapore.
2. Riscaldamento a fascio di elettroni
Nel riscaldamento a fascio di elettroni, un fascio di elettroni viene utilizzato per riscaldare il materiale di partenza.
Il fascio di elettroni è generato da un cannone elettronico.
Questo fascio viene diretto sul materiale di partenza, provocandone il riscaldamento e l'evaporazione o la sublimazione.
L'evaporazione a fascio di elettroni offre un controllo preciso del processo di riscaldamento.
Inoltre, consente di raggiungere tassi di deposizione elevati.
Sia il riscaldamento resistivo che il riscaldamento a fascio di elettroni sono comunemente utilizzati nei processi di evaporazione.
Questi metodi riscaldano il materiale di partenza ad alte temperature, facendolo vaporizzare e condensare sul substrato.
Ogni metodo ha i suoi vantaggi e viene scelto in base a fattori quali il materiale di rivestimento, la velocità di deposizione, la qualità del rivestimento e il controllo dello spessore del film.
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