Due metodi comuni per riscaldare il materiale di partenza nell'evaporazione sono il riscaldamento resistivo e il riscaldamento a fascio di elettroni.
1. Riscaldamento resistivo: Questo metodo prevede l'utilizzo di un elemento riscaldante o di un filamento per riscaldare il materiale di partenza. Il filamento, costituito da materiali come il tungsteno, il molibdeno, il quarzo o la grafite, viene riscaldato fino al suo punto di fusione facendo passare una forte corrente attraverso un filo o una lamina resistiva che contiene il materiale metallico. Quando il filamento si riscalda, anche il materiale di partenza si riscalda e alla fine evapora o sublima in un vapore.
2. Riscaldamento a fascio di elettroni: In questo metodo si utilizza un fascio di elettroni per riscaldare il materiale di partenza. Il fascio di elettroni, generato da un cannone elettronico, viene puntato sul materiale di partenza, provocandone il riscaldamento e l'evaporazione o la sublimazione. L'evaporazione a fascio di elettroni offre un controllo preciso del processo di riscaldamento e consente di raggiungere tassi di deposizione elevati.
Questi due meccanismi di riscaldamento sono comunemente utilizzati nei processi di evaporazione per riscaldare il materiale di partenza ad alte temperature, provocandone la vaporizzazione e la condensazione sul substrato. Ogni metodo ha i suoi vantaggi e viene scelto in base a fattori quali il materiale di rivestimento, la velocità di deposizione, la qualità del rivestimento e il controllo dello spessore del film.
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