Quando si tratta di depositare film sottili su substrati, due metodi comuni sono la deposizione per sputtering e l'evaporazione termica.
5 punti chiave da considerare
1. Meccanismo del processo
La deposizione per sputtering utilizza molecole di gas eccitate per depositare film sottili su un substrato.
L'evaporazione termica si basa sul calore per far evaporare o sublimare un materiale solido di partenza.
2. Qualità e uniformità del film
Lo sputtering offre una migliore qualità e uniformità del film.
L'evaporazione termica offre tassi di deposizione più elevati.
3. Costo e complessità
Lo sputtering è più complesso e costoso.
L'evaporazione termica è più economica e meno complessa.
4. Compatibilità dei materiali
Lo sputtering può essere utilizzato per depositare metalli, non metalli, leghe e ossidi.
L'evaporazione termica è adatta a film più sottili di metalli o non metalli con temperature di fusione inferiori.
5. Copertura del gradino e scalabilità
Lo sputtering offre una migliore copertura e scalabilità dei gradini.
L'evaporazione termica offre un'elevata produttività e una produzione in grandi volumi.
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