Il rivestimento sputter per il SEM ha in genere uno spessore compreso tra 2 e 20 nanometri (nm).
Questo rivestimento ultrasottile viene applicato a campioni non conduttori o scarsamente conduttori per prevenire la carica e migliorare il rapporto segnale/rumore durante l'imaging.
La scelta del metallo (come oro, argento, platino o cromo) dipende dai requisiti specifici del campione e dal tipo di analisi da condurre.
Qual è lo spessore del rivestimento sputter per il SEM? (4 punti chiave spiegati)
1. Scopo del rivestimento sputter
Il rivestimento sputter è fondamentale per il SEM perché applica uno strato conduttivo a campioni non conduttivi o con scarsa conduttività.
Questo rivestimento aiuta a prevenire l'accumulo di campi elettrici statici, che possono distorcere l'immagine o danneggiare il campione.
Inoltre, aumenta l'emissione di elettroni secondari, migliorando così la qualità delle immagini SEM.
2. Gamma di spessori
Lo spessore tipico dei film sputtered per il SEM è compreso tra 2 e 20 nm.
Questo intervallo viene scelto per garantire che il rivestimento sia abbastanza sottile da non oscurare i dettagli del campione, ma abbastanza spesso da fornire una conduttività adeguata.
Per i SEM a basso ingrandimento, i rivestimenti di 10-20 nm sono sufficienti e non influiscono sulle immagini.
Tuttavia, per i SEM a più alto ingrandimento con risoluzioni inferiori a 5 nm, sono preferibili rivestimenti più sottili (fino a 1 nm) per evitare di oscurare i dettagli del campione.
3. Tipi di materiali di rivestimento
I materiali più comuni utilizzati per il rivestimento sputter includono oro, argento, platino e cromo.
Ogni materiale presenta vantaggi specifici a seconda del campione e del tipo di analisi.
Ad esempio, l'oro è spesso utilizzato per la sua eccellente conduttività, mentre il platino potrebbe essere scelto per la sua durata.
In alcuni casi, i rivestimenti di carbonio sono preferiti, soprattutto per la spettroscopia a raggi X e la diffrazione a retrodiffusione di elettroni (EBSD), dove i rivestimenti metallici potrebbero interferire con l'analisi della struttura dei grani del campione.
4. Apparecchiature e tecniche
La scelta del rivestimento sputter influisce anche sulla qualità e sullo spessore del rivestimento.
Gli sputter coaters di base sono adatti per SEM a basso ingrandimento e operano a livelli di vuoto inferiori, depositando rivestimenti di 10-20 nm.
I rivestimenti sputter di fascia alta, invece, offrono livelli di vuoto più elevati, ambienti con gas inerte e un monitoraggio preciso dello spessore, consentendo di ottenere rivestimenti molto sottili (fino a 1 nm), fondamentali per le analisi SEM e EBSD ad alta risoluzione.
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