Il rivestimento sputter per il SEM ha in genere uno spessore compreso tra 2 e 20 nanometri (nm). Questo rivestimento ultrasottile viene applicato a campioni non conduttori o scarsamente conduttori per prevenire la carica e migliorare il rapporto segnale/rumore durante l'imaging. La scelta del metallo (come oro, argento, platino o cromo) dipende dai requisiti specifici del campione e dal tipo di analisi da condurre.
Spiegazione dettagliata:
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Scopo del rivestimento sputter:
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Il rivestimento sputter è fondamentale per il SEM perché applica uno strato conduttivo a campioni non conduttivi o con scarsa conduttività. Questo rivestimento aiuta a prevenire l'accumulo di campi elettrici statici, che possono distorcere l'immagine o danneggiare il campione. Inoltre, aumenta l'emissione di elettroni secondari, migliorando così la qualità delle immagini SEM.Gamma di spessori:
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Lo spessore tipico dei film sputtered per il SEM è compreso tra 2 e 20 nm. Questo intervallo viene scelto per garantire che il rivestimento sia abbastanza sottile da non oscurare i dettagli del campione, ma abbastanza spesso da fornire una conduttività adeguata. Per i SEM a basso ingrandimento, i rivestimenti di 10-20 nm sono sufficienti e non influiscono sulle immagini. Tuttavia, per i SEM a più alto ingrandimento con risoluzioni inferiori a 5 nm, sono preferibili rivestimenti più sottili (fino a 1 nm) per evitare di oscurare i dettagli del campione.
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Tipi di materiali di rivestimento:
I materiali più comuni utilizzati per il rivestimento sputter includono oro, argento, platino e cromo. Ogni materiale presenta vantaggi specifici a seconda del campione e del tipo di analisi. Ad esempio, l'oro è spesso utilizzato per la sua eccellente conduttività, mentre il platino potrebbe essere scelto per la sua durata. In alcuni casi, i rivestimenti di carbonio sono preferiti, soprattutto per la spettroscopia a raggi X e la diffrazione a retrodiffusione di elettroni (EBSD), dove i rivestimenti metallici potrebbero interferire con l'analisi della struttura dei grani del campione.
Apparecchiature e tecniche:
