Il rivestimento sputter nel SEM prevede l'applicazione di uno strato sottilissimo di metallo elettricamente conduttore su campioni non conduttori o scarsamente conduttori. Questo processo è fondamentale per prevenire la carica del campione e migliorare il rapporto segnale/rumore nell'imaging al SEM. Il rivestimento, spesso in genere 2-20 nm, viene applicato con una tecnica che prevede la generazione di un plasma metallico e il suo deposito sul campione.
Spiegazione dettagliata:
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Scopo del rivestimento sputter:
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Il rivestimento sputter viene utilizzato principalmente per risolvere il problema della carica del campione nel SEM. I materiali non conduttivi possono accumulare campi elettrici statici quando sono esposti al fascio di elettroni, distorcendo l'immagine e danneggiando il campione. Applicando uno strato conduttivo, come oro, platino o loro leghe, la carica viene dissipata, garantendo un'immagine chiara e non distorta.Tecnica e processo:
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Il processo di sputter coating prevede la creazione di un plasma metallico attraverso una scarica a bagliore, dove il bombardamento ionico di un catodo erode il materiale. Gli atomi sputati si depositano quindi sul campione, formando una sottile pellicola conduttiva. Questo processo è attentamente controllato per garantire un rivestimento uniforme e coerente, spesso utilizzando apparecchiature automatizzate per mantenere alta la precisione e la qualità.
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Vantaggi per l'imaging al SEM:
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Oltre a prevenire la carica, il rivestimento sputter aumenta l'emissione di elettroni secondari dalla superficie del campione. L'aumento della produzione di elettroni secondari migliora il rapporto segnale/rumore, consentendo di ottenere immagini più chiare e dettagliate. Inoltre, il rivestimento conduttivo può contribuire a ridurre i danni termici al campione, allontanando il calore generato dal fascio di elettroni.Tipi di metalli utilizzati:
I metalli più comuni utilizzati per il rivestimento sputter includono oro (Au), oro/palladio (Au/Pd), platino (Pt), argento (Ag), cromo (Cr) e iridio (Ir). La scelta del metallo dipende da fattori quali le proprietà del campione e i requisiti specifici dell'analisi SEM.Spessore del rivestimento:
