Quando si parla di plasma nello sputtering, il gas utilizzato è tipicamente un gas inerte.
L'argon è la scelta più comune ed economica tra i gas inerti.
I gas inerti come l'argon, il kripton, lo xenon e il neon sono preferiti perché non reagiscono con il materiale bersaglio o il substrato.
Forniscono un mezzo per la formazione del plasma senza alterare la composizione chimica dei materiali coinvolti.
Quale gas si usa per il plasma nello sputtering? (4 punti chiave spiegati)
1. Selezione del gas inerte
La scelta di un gas inerte è fondamentale nello sputtering perché il gas non deve reagire chimicamente con il materiale di destinazione o il substrato.
Ciò garantisce che il processo di deposizione rimanga chimicamente stabile e non introduca composti indesiderati nel film depositato.
L'argon è il gas più comunemente utilizzato grazie alla sua disponibilità e al suo rapporto qualità-prezzo.
Ha un peso atomico adeguato che consente un efficiente trasferimento di quantità di moto durante il processo di sputtering, essenziale per ottenere elevate velocità di sputtering e deposizione.
2. Formazione del plasma
Il plasma viene creato ionizzando il gas di sputtering all'interno di una camera a vuoto.
Il gas viene introdotto a bassa pressione, in genere pochi milliTorr, e viene applicata una tensione CC o RF per ionizzare gli atomi del gas.
Questo processo di ionizzazione forma un plasma, costituito da ioni con carica positiva ed elettroni liberi.
L'ambiente del plasma è dinamico, con atomi di gas neutri, ioni, elettroni e fotoni in quasi equilibrio.
Questo ambiente facilita il trasferimento di energia necessario per il processo di sputtering.
3. Processo di sputtering
Durante lo sputtering, il materiale bersaglio viene bombardato da ioni provenienti dal plasma.
Il trasferimento di energia da parte di questi ioni fa sì che le particelle del materiale bersaglio vengano espulse e depositate sul substrato.
La velocità di sputtering, ovvero la velocità con cui il materiale viene rimosso dal bersaglio e depositato sul substrato, dipende da diversi fattori, tra cui la resa di sputtering, il peso molare del bersaglio, la densità del materiale e la densità di corrente ionica.
4. Variazioni nella selezione del gas
Sebbene l'argon sia la scelta più comune, la selezione del gas di sputtering può essere personalizzata in base al peso atomico del materiale target.
Per gli elementi più leggeri si possono preferire gas come il neon, mentre per gli elementi più pesanti si possono usare il kripton o lo xenon per ottimizzare il trasferimento di quantità di moto.
I gas reattivi possono essere utilizzati anche in alcuni processi di sputtering per formare composti sulla superficie del target, in volo o sul substrato, a seconda dei parametri specifici del processo.
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