L'evaporazione termica prevede l'utilizzo di vari materiali e forme per facilitare il riscaldamento e l'evaporazione di sostanze in un ambiente ad alto vuoto.
5 Componenti chiave spiegati
1. Sorgenti di evaporazione termica
Le sorgenti di evaporazione termica sono tipicamente realizzate con materiali come tungsteno, tantalio o molibdeno.
Queste sorgenti sono disponibili in forme come barche, cestelli, filamenti e barre rivestite.
Le barche sono comunemente utilizzate e sono disponibili in varie dimensioni. Le barche più grandi richiedono generalmente una potenza maggiore per lo stesso tasso di deposizione, ma possono gestire tassi di deposizione massimi più elevati.
Vengono utilizzati anche cestelli e filamenti, che spesso supportano crogioli o riscaldano direttamente i materiali di evaporazione.
Le barre rivestite possono avere un rivestimento di materiale passivo, come l'ossido di alluminio, per migliorarne le prestazioni o la durata.
2. Tipi di materiali utilizzati
Per l'evaporazione termica si usano comunemente i metalli, tra cui oro, argento, titanio e rame. Questi materiali sono scelti per la loro conducibilità, malleabilità e resistenza alla corrosione.
Semiconduttori come il biossido di silicio sono utilizzati in applicazioni che richiedono specifiche proprietà elettriche.
I metalli refrattari, come il tungsteno e il molibdeno, sono utilizzati per i loro elevati punti di fusione e per la loro resistenza al calore intenso.
3. Tecniche di riscaldamento
Riscaldamento resistivo L'evaporazione comporta il riscaldamento del materiale in un crogiolo riscaldato resistivamente e il vapore si condensa sul substrato.
L'evaporazione a fascio di elettroni utilizza un fascio di elettroni focalizzato sul materiale, provocando un rapido riscaldamento e l'evaporazione.
L'evaporazione flash riscalda rapidamente il materiale fino alla temperatura di evaporazione, utilizzando un impulso ad alta corrente o una fonte di calore intensa.
Riscaldamento a induzione L'evaporazione induce correnti nel materiale di partenza, provocandone il riscaldamento e l'evaporazione.
4. Panoramica del processo
L'evaporazione termica consiste nel riscaldare un materiale solido all'interno di una camera ad alto vuoto fino a farlo bollire ed evaporare, producendo una pressione di vapore.
Questo vapore forma una nuvola che attraversa la camera e si deposita sul substrato sotto forma di film sottile.
L'ambiente sotto vuoto garantisce che il flusso di vapore viaggi senza reagire o disperdersi contro altri atomi.
5. Applicazioni in vari settori
L'evaporazione termica è utilizzata in diversi settori per la sua precisione e affidabilità nella creazione di film sottili.
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