Il rivestimento sputter per il SEM consiste nel depositare un sottile strato di materiale conduttivo su un campione per migliorarne la conduttività, ridurre gli effetti di carica elettrica e aumentare l'emissione di elettroni secondari. Ciò si ottiene attraverso un processo chiamato sputtering, in cui una scarica a bagliore tra un catodo e un anodo in un ambiente gassoso (tipicamente argon) erode il materiale target del catodo (solitamente oro o platino). Gli atomi sputati si depositano quindi uniformemente sulla superficie del campione, preparandolo per l'analisi al microscopio elettronico a scansione.
Processo di sputtering:
Il processo di sputtering inizia con la formazione di una scarica a bagliore tra un catodo (contenente il materiale target) e un anodo in una camera riempita di gas argon. Il gas argon viene ionizzato, creando ioni argon con carica positiva. Questi ioni sono accelerati verso il catodo dal campo elettrico e, al momento dell'impatto, spostano gli atomi dalla superficie del catodo attraverso il trasferimento di quantità di moto. Questa erosione del materiale del catodo è nota come sputtering.Deposizione di atomi sputati:
Gli atomi sputati viaggiano in tutte le direzioni e alla fine si depositano sulla superficie del campione posto vicino al catodo. Questa deposizione è in genere uniforme e forma un sottile strato conduttivo. L'uniformità del rivestimento è fondamentale per l'analisi al SEM, in quanto garantisce una copertura uniforme della superficie del campione, riducendo il rischio di carica e migliorando l'emissione di elettroni secondari.
Vantaggi per il SEM:
Lo strato conduttivo fornito dal rivestimento sputter aiuta a dissipare l'accumulo di carica causato dal fascio di elettroni al SEM, particolarmente importante per i campioni non conduttivi. Migliora anche la resa degli elettroni secondari, con conseguente miglioramento del contrasto e della risoluzione delle immagini. Inoltre, il rivestimento può proteggere il campione dai danni termici, allontanando il calore dalla superficie.Miglioramenti tecnologici:
