I materiali utilizzati nelle sorgenti di evaporazione termica includono principalmente tungsteno, molibdeno e tantalio. Questi materiali sono scelti per la loro elevata purezza, gli alti punti di fusione e le basse pressioni di vapore, che li rendono adatti alle sorgenti di evaporazione a riscaldamento resistivo. Queste sorgenti sono disponibili in varie forme, come barche, cestelli, filamenti e barre rivestite, ciascuna progettata per supportare diversi tipi di evaporanti e applicazioni.
Tungsteno, molibdeno e tantalio: Questi materiali sono comunemente utilizzati nella fabbricazione di sorgenti di evaporazione grazie alle loro proprietà refrattarie. Possono resistere alle alte temperature senza subire degradazioni significative, il che è fondamentale per il processo di evaporazione, in cui il materiale di partenza viene riscaldato fino al suo punto di fusione o oltre per essere vaporizzato e depositato su un substrato.
Forme di sorgenti di evaporazione:
- Barche: Sono comunemente utilizzate e di varie dimensioni. Le barche più grandi richiedono una potenza maggiore per lo stesso tasso di deposizione, ma possono gestire tassi di deposizione massimi più elevati.
- Cestelli: Sono quelli adatti a sostenere i crogioli e sono utilizzati per i materiali che potrebbero richiedere un contenimento durante l'evaporazione.
- Filamenti: Sono tipicamente utilizzati per materiali che possono essere evaporati a temperature inferiori o per applicazioni su scala ridotta.
- Barre rivestite: Possono essere utilizzate quando è necessario un rivestimento superficiale specifico per migliorare il processo di evaporazione o per prevenire la contaminazione.
Applicazioni e design:
La progettazione della sorgente di evaporazione è fondamentale per applicazioni specifiche come OLED/rivestimento multiplo nella produzione di schermi piatti. Le sorgenti sono progettate specificamente per ottimizzare il processo di evaporazione, garantendo una deposizione efficiente e uniforme dei materiali.Alimentazione e controllo:
Le sorgenti di evaporazione termica richiedono in genere una fonte di alimentazione elettrica a bassa tensione e ad alta corrente. La richiesta di potenza è solitamente elevata, soprattutto per le sorgenti di evaporazione a barca. Per controllare la velocità di evaporazione e il tasso di deposizione, i sistemi di evaporazione termica spesso utilizzano microbilance a cristallo di quarzo (QCM) e altre configurazioni software o hardware per gestire il tasso di evaporazione e le proprietà del film.
Materiali evaporanti:
