Le sorgenti di evaporazione termica sono componenti essenziali in diversi processi scientifici e industriali. Vengono utilizzate per vaporizzare materiali ad alte temperature per la deposizione su substrati. I materiali utilizzati in queste sorgenti sono scelti con cura per le loro proprietà uniche.
5 punti chiave da conoscere sui materiali utilizzati nelle sorgenti di evaporazione termica
1.Materiali primari: Tungsteno, Molibdeno e Tantalio
Questi materiali sono i più comunemente utilizzati nelle sorgenti di evaporazione termica. Sono scelti per la loro elevata purezza, gli alti punti di fusione e le basse pressioni di vapore. Ciò li rende ideali per le sorgenti di evaporazione a riscaldamento resistivo.
2.Proprietà dei refrattari
Tungsteno, molibdeno e tantalio sono noti per le loro proprietà refrattarie. Ciò significa che possono resistere a temperature estremamente elevate senza degradarsi. Ciò è fondamentale per il processo di evaporazione, in cui il materiale di partenza viene riscaldato fino al punto di fusione o oltre.
3.Diverse forme di sorgenti di evaporazione
Le sorgenti di evaporazione termica sono disponibili in varie forme per soddisfare le diverse esigenze:
- Barche: Sono comunemente utilizzate e sono disponibili in varie dimensioni. Le barche più grandi richiedono una maggiore potenza, ma possono gestire tassi di deposizione più elevati.
- Cestelli: Sono adatti a sostenere i crogioli e sono utilizzati per i materiali che devono essere contenuti durante l'evaporazione.
- Filamenti: Sono tipicamente utilizzati per materiali che possono essere evaporati a temperature più basse o per applicazioni su scala ridotta.
- Barre rivestite: Possono essere utilizzate quando è necessario un rivestimento superficiale specifico per migliorare il processo di evaporazione o per prevenire la contaminazione.
4.Applicazioni e design
La progettazione della sorgente di evaporazione è fondamentale per applicazioni specifiche, come gli OLED e i rivestimenti multipli nella produzione di schermi piatti. Le sorgenti sono progettate per ottimizzare il processo di evaporazione, garantendo una deposizione efficiente e uniforme dei materiali.
5.Alimentazione e controllo
Le sorgenti di evaporazione termica richiedono in genere una fonte di alimentazione elettrica a bassa tensione e ad alta corrente. La richiesta di potenza è solitamente elevata, soprattutto per le sorgenti di evaporazione a barca. Per controllare la velocità di evaporazione e il tasso di deposizione, i sistemi di evaporazione termica utilizzano spesso microbilance a cristallo di quarzo (QCM) e altre configurazioni software o hardware.
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