I quattro tipi di pompe per vuoto comunemente utilizzati sono le pompe rotative a palette, le pompe a radici, le pompe a diffusione d'olio e le pompe turbomolecolari. Ogni tipo è progettato per raggiungere pressioni di vuoto specifiche e viene scelto in base ai requisiti del processo applicativo.
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Pompe rotative a palette: Queste pompe utilizzano un meccanismo in cui una serie di palette montate su un rotore scorrono dentro e fuori dalle fessure dell'alloggiamento della pompa mentre il rotore gira. Le palette intrappolano e comprimono l'aria, che viene poi espulsa attraverso una valvola di scarico. Le pompe rotative a palette sono efficaci nel raggiungere livelli di vuoto grossolani, in genere fino a 5x10-2 mbar. Sono ampiamente utilizzate in applicazioni che richiedono livelli di vuoto moderati e sono note per la loro affidabilità e durata.
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Pompe Roots (o pompe rotative a soffiante): Queste pompe funzionano secondo il principio dello spostamento positivo, in cui due rotori in stretta tolleranza ruotano in direzioni opposte, intrappolando ed espellendo il gas. Le pompe Roots sono spesso utilizzate insieme alle pompe rotative a palette per aumentare la velocità di pompaggio e raggiungere livelli di vuoto più elevati. Sono particolarmente utili nelle applicazioni che richiedono una rapida evacuazione di grandi volumi di gas.
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Pompe a diffusione d'olio: Queste pompe sono progettate per raggiungere livelli di vuoto elevati. Funzionano dirigendo un getto di vapore d'olio ad alta velocità contro le molecole di gas in ingresso, che vengono quindi dirette verso il basso e raccolte sul fondo della pompa. Il gas viene quindi espulso da una pompa di supporto. Le pompe a diffusione d'olio sono in grado di raggiungere livelli di vuoto fino a 10-5 mbar e sono comunemente utilizzate nella ricerca scientifica e nei processi industriali ad alto vuoto.
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Pompe turbomolecolari: Queste pompe utilizzano pale rotanti ad alta velocità per imprimere slancio alle molecole di gas, trasferendole efficacemente dall'ingresso allo scarico della pompa. Le pompe turbomolecolari sono in grado di raggiungere livelli di vuoto molto elevati, in genere fino a 10-9 mbar. Sono utilizzate in applicazioni che richiedono un vuoto elevatissimo, come la produzione di semiconduttori e strumenti analitici come gli spettrometri di massa.
Ciascuno di questi tipi di pompa opera in una gamma specifica di livelli di vuoto e viene scelto in base alle esigenze specifiche dell'applicazione, tra cui il livello di vuoto richiesto, la velocità di pompaggio e la natura dei gas trattati.
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