Per ottenere un vuoto elevato, si utilizza in genere una combinazione di pompe, con una pompa turbomolecolare o una pompa a diffusione d'olio come scelta primaria per livelli di vuoto elevati. Queste pompe sono specializzate per raggiungere pressioni molto basse e sono spesso utilizzate in serie con una pre-pompa, come una pompa rotativa a palette o una pompa scroll a secco.
Pompe turbomolecolari:
Le pompe turbomolecolari sono progettate per funzionare a livelli di vuoto molto elevati, in genere inferiori a 10^-7 mbar. Funzionano utilizzando lame rotanti per imprimere slancio alle molecole di gas in una direzione opposta a quella del flusso di gas, pompando efficacemente il gas fuori dal sistema. Queste pompe sono altamente efficienti nel rimuovere i gas e sono comunemente utilizzate in applicazioni che richiedono un vuoto ultraelevato, come nella produzione di semiconduttori, nella ricerca scientifica e nelle camere di simulazione spaziale.Pompe a diffusione d'olio:
Le pompe a diffusione d'olio sono un altro tipo di pompa utilizzata per le applicazioni ad alto vuoto. Funzionano dirigendo un getto ad alta velocità di vapore d'olio contro le pareti di una camera, che poi si condensa e ritorna nella caldaia. Le molecole di gas presenti nella camera sono spinte dai getti di vapore d'olio verso un'uscita dove vengono raccolte e rimosse. Queste pompe possono raggiungere livelli di vuoto fino a 10^-7 mbar e sono spesso utilizzate in applicazioni scientifiche e industriali in cui è richiesto un vuoto elevato.
Sia le pompe turbomolecolari che quelle a diffusione d'olio richiedono una pompa di supporto (come una pompa rotativa a palette) per mantenere una pressione sufficientemente bassa all'ingresso per funzionare efficacemente. La pompa di supporto crea un vuoto grezzo, che viene poi ulteriormente raffinato dalla pompa per alto vuoto per ottenere le pressioni ultrabasse desiderate.
