I principali tipi di sistemi di sputtering utilizzati nella pratica comprendono:
1. Sputtering a diodi in corrente continua: Questo tipo di sputtering utilizza una tensione continua tra 500-1000 V per accendere un plasma di argon a bassa pressione tra un bersaglio e un substrato. Gli ioni positivi di argon precipitano gli atomi dal bersaglio, che migrano verso il substrato e si condensano per formare un film sottile. Tuttavia, con questo metodo si possono spruzzare solo conduttori elettrici e si ottengono basse velocità di sputtering.
Altri tipi di processi di sputtering sono:
2. Sputtering a diodi RF: Questo metodo utilizza la potenza della radiofrequenza per ionizzare il gas e generare il plasma. Consente di ottenere tassi di sputtering più elevati e può essere utilizzato sia per materiali conduttivi che isolanti.
3. Sputtering con diodo magnetronico: In questo metodo si utilizza un magnetron per aumentare l'efficienza dello sputtering. Il campo magnetico intrappola gli elettroni vicino alla superficie del bersaglio, aumentando il tasso di ionizzazione e migliorando il tasso di deposizione.
4. Sputtering a fascio ionico: Questa tecnica prevede l'utilizzo di un fascio di ioni per spruzzare gli atomi dal materiale bersaglio. Consente un controllo preciso dell'energia degli ioni e dell'angolo di incidenza, rendendola adatta ad applicazioni che richiedono alta precisione e uniformità.
È importante notare che lo sputtering può essere utilizzato per un'ampia varietà di materiali, tra cui metalli, ceramiche e altri materiali. I rivestimenti sputter possono essere monostrato o multistrato e possono essere costituiti da materiali come argento, oro, rame, acciaio, ossidi metallici o nitruri. Inoltre, esistono diverse forme di processi di sputtering, come lo sputtering reattivo, lo sputtering magnetronico a impulsi ad alta potenza (HiPIMS) e lo sputtering assistito da ioni, ognuno con le proprie caratteristiche e applicazioni uniche.
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