Il rivestimento sputter per il SEM prevede tipicamente l'applicazione di uno strato metallico ultrasottile elettricamente conduttivo con uno spessore compreso tra 2 e 20 nm.
Questo rivestimento è fondamentale per i campioni non conduttivi o scarsamente conduttivi per prevenire la carica e migliorare il rapporto segnale/rumore nell'imaging al SEM.
4 punti chiave spiegati
1. Scopo del rivestimento sputter
Il rivestimento sputter viene utilizzato principalmente per applicare un sottile strato di metallo conduttivo su campioni non conduttivi o scarsamente conduttivi.
Questo strato aiuta a prevenire l'accumulo di campi elettrici statici, che possono interferire con il processo di imaging al SEM.
Inoltre, aumenta l'emissione di elettroni secondari dalla superficie del campione, migliorando così il rapporto segnale/rumore e la qualità complessiva delle immagini SEM.
2. Spessore tipico
Lo spessore dei film sputtered varia tipicamente da 2 a 20 nm.
Questo intervallo viene scelto per garantire che il rivestimento sia abbastanza sottile da non oscurare i dettagli del campione, ma abbastanza spesso da fornire un'efficace conducibilità elettrica e prevenire la carica.
Per i SEM a basso ingrandimento, i rivestimenti di 10-20 nm sono generalmente sufficienti e non influiscono significativamente sulle immagini.
Tuttavia, per i SEM a più alto ingrandimento, specialmente quelli con risoluzioni inferiori a 5 nm, sono preferibili rivestimenti più sottili (fino a 1 nm) per evitare di oscurare i dettagli del campione.
3. Materiali utilizzati
I metalli più comuni utilizzati per il rivestimento sputter includono oro (Au), oro/palladio (Au/Pd), platino (Pt), argento (Ag), cromo (Cr) e iridio (Ir).
Questi materiali sono scelti per la loro conduttività e per la capacità di migliorare le condizioni di imaging al SEM.
In alcuni casi, un rivestimento in carbonio potrebbe essere preferito, soprattutto per applicazioni come la spettroscopia a raggi X e la diffrazione a retrodiffusione di elettroni (EBSD), dove è fondamentale evitare di mescolare le informazioni provenienti dal rivestimento e dal campione.
4. Vantaggi del rivestimento sputter
I vantaggi del rivestimento sputter per i campioni SEM comprendono la riduzione dei danni al fascio, l'aumento della conduzione termica, la riduzione della carica del campione, il miglioramento dell'emissione di elettroni secondari, la riduzione della penetrazione del fascio con una migliore risoluzione dei bordi e la protezione dei campioni sensibili al fascio.
Questi vantaggi migliorano complessivamente la qualità e l'accuratezza dell'imaging al SEM, rendendolo un passaggio fondamentale nella preparazione di alcuni tipi di campioni per l'analisi al SEM.
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