Il rivestimento per il SEM prevede tipicamente l'applicazione di un sottile strato di materiale conduttivo, come oro, platino o una lega di oro/iridio/platino, su campioni non conduttivi o scarsamente conduttivi. Questo rivestimento è fondamentale per prevenire la carica della superficie del campione sotto il fascio di elettroni, per aumentare l'emissione di elettroni secondari e per migliorare il rapporto segnale/rumore, ottenendo immagini più chiare e stabili. Inoltre, i rivestimenti possono proteggere i campioni sensibili al fascio e ridurre i danni termici.
Rivestimenti conduttivi:
I rivestimenti più comuni utilizzati nei SEM sono metalli come l'oro, il platino e le leghe di questi metalli. Questi materiali vengono scelti per la loro elevata conduttività e per la resa degli elettroni secondari, che migliorano notevolmente le capacità di imaging del SEM. Ad esempio, il rivestimento di un campione con pochi nanometri di oro o platino può aumentare notevolmente il rapporto segnale/rumore, ottenendo immagini nitide e chiare.
- Vantaggi dei rivestimenti metallici:Riduzione del danno da fascio di luce:
- I rivestimenti metallici possono proteggere il campione dall'esposizione diretta al fascio di elettroni, riducendo la probabilità di danni.Maggiore conduzione termica:
- Conducendo il calore lontano dal campione, i rivestimenti metallici aiutano a prevenire danni termici che potrebbero alterare la struttura o le proprietà del campione.Riduzione della carica del campione:
- Lo strato conduttivo impedisce l'accumulo di cariche elettrostatiche sulla superficie del campione, che possono distorcere l'immagine e interferire con il funzionamento del fascio di elettroni.Migliore emissione di elettroni secondari:
- I rivestimenti metallici migliorano l'emissione di elettroni secondari, fondamentali per l'imaging al SEM.Riduzione della penetrazione del fascio e miglioramento della risoluzione dei bordi:
I rivestimenti metallici possono ridurre la profondità di penetrazione del fascio di elettroni, migliorando la risoluzione delle caratteristiche superficiali.Rivestimento sputter:
Il rivestimento sputter è il metodo standard per l'applicazione di questi strati conduttivi. Si tratta di un processo di deposizione sputter in cui un bersaglio metallico viene bombardato con ioni di argon, provocando l'espulsione di atomi di metallo e il loro deposito sul campione. Questo metodo consente di controllare con precisione lo spessore e l'uniformità del rivestimento, un aspetto fondamentale per ottenere prestazioni ottimali al SEM.
Considerazioni sulla spettroscopia a raggi X:
Quando si utilizza la spettroscopia a raggi X, i rivestimenti metallici possono interferire con l'analisi. In questi casi, è preferibile un rivestimento in carbonio che non introduce elementi aggiuntivi che potrebbero complicare l'analisi spettroscopica.Moderne capacità del SEM:
