Lo spessore tipico del rivestimento d'oro per applicazioni SEM (Scanning Electron Microscopy) varia da 2 a 20 nm. Questo strato sottilissimo di oro viene applicato mediante un processo chiamato sputter coating, che prevede il deposito di un metallo conduttivo su campioni non conduttivi o scarsamente conduttivi. Lo scopo principale di questo rivestimento è quello di prevenire la carica del campione dovuta all'accumulo di campi elettrici statici e di migliorare il rilevamento degli elettroni secondari, migliorando così il rapporto segnale/rumore e la qualità complessiva dell'immagine al SEM.
L'oro è il materiale più comunemente usato per questo tipo di rivestimento grazie alla sua bassa funzione di lavoro, che lo rende molto efficiente per il rivestimento. Quando si utilizzano rivestimenti cool sputter, il processo di sputtering di strati sottili di oro comporta un riscaldamento minimo della superficie del campione. La dimensione dei grani del rivestimento d'oro, visibile ad alti ingrandimenti nei moderni SEM, varia in genere da 5 a 10 nm. Questo è particolarmente importante per mantenere l'integrità e la visibilità del campione in esame.
In applicazioni specifiche, come il rivestimento di un wafer da 6" con oro/palladio (Au/Pd), è stato utilizzato uno spessore di 3 nm. Questo è stato ottenuto utilizzando lo Sputter Coater SC7640 con impostazioni di 800 V e 12 mA, utilizzando gas argon e un vuoto di 0,004 bar. La distribuzione uniforme di questo sottile rivestimento sull'intero wafer è stata confermata da test successivi.
In generale, lo spessore del rivestimento d'oro nelle applicazioni SEM è controllato meticolosamente per garantire prestazioni ottimali senza alterare in modo significativo le caratteristiche del campione. La scelta dell'oro come materiale di rivestimento è strategica, considerando le sue proprietà conduttive e la minima interferenza con l'analisi del campione, soprattutto quando si utilizzano tecniche come la spettroscopia a raggi X a dispersione di energia (EDX).
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