La differenza principale tra lo sputtering a radiofrequenza e lo sputtering a corrente continua risiede nelle loro fonti di alimentazione.
Lo sputtering in corrente continua utilizza una corrente continua come fonte di alimentazione.
Lo sputtering RF utilizza una sorgente di corrente alternata (AC).
Questa differenza nelle fonti di alimentazione porta a diverse distinzioni tra le due tecniche di sputtering.
4 punti chiave per comprendere la differenza tra sputtering RF e sputtering CC
1. Requisiti di tensione
Lo sputtering in corrente continua richiede in genere 2.000-5.000 volt.
Lo sputtering RF richiede 1.012 volt o più per ottenere lo stesso tasso di deposizione.
Ciò è dovuto al fatto che lo sputtering in corrente continua comporta il bombardamento diretto del plasma di gas da parte degli elettroni.
Lo sputtering RF utilizza l'energia cinetica per rimuovere gli elettroni dai gusci esterni degli atomi del gas.
La creazione di onde radio nello sputtering RF richiede una maggiore alimentazione per ottenere lo stesso effetto di una corrente di elettroni.
2. Pressione della camera
Lo sputtering a radiofrequenza può mantenere il plasma gassoso a una pressione di camera significativamente inferiore a 15 mTorr.
Lo sputtering in corrente continua richiede una pressione di camera di 100 mTorr.
Questa pressione inferiore contribuisce a ridurre il numero di collisioni tra le particelle cariche del plasma e il materiale bersaglio.
Crea un percorso più diretto verso il bersaglio dello sputtering.
3. Applicabilità
Lo sputtering in corrente continua è ampiamente utilizzato, efficace ed economico.
È adatto alla lavorazione di grandi quantità di substrati.
Lo sputtering a radiofrequenza funziona sia per i materiali conduttivi che per quelli non conduttivi.
È più costoso e ha una resa di sputtering inferiore.
È più adatto a substrati di dimensioni inferiori.
4. Sintesi delle differenze
Lo sputtering a radiofrequenza utilizza una sorgente di alimentazione in corrente alternata, richiede una tensione più elevata, opera a una pressione di camera inferiore ed è adatto sia per i materiali conduttivi che per quelli non conduttivi.
Lo sputtering in corrente continua utilizza una sorgente di alimentazione in corrente continua, richiede una tensione inferiore, opera a una pressione di camera più elevata ed è più economico per la lavorazione di grandi quantità di substrati.
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